[發明專利]硅棒轉換裝置、硅棒開方設備及硅棒開方方法在審
| 申請號: | 201810135530.5 | 申請日: | 2018-02-09 |
| 公開(公告)號: | CN110126107A | 公開(公告)日: | 2019-08-16 |
| 發明(設計)人: | 盧建偉;潘雪明 | 申請(專利權)人: | 浙江集英精密機器有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司: | 浙江杭州金通專利事務所有限公司 33100 | 代理人: | 王麗丹 |
| 地址: | 314400 浙江省嘉興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅棒 開方 轉換裝置 切割區 等待區 切割 轉換 線切割裝置 承載 一次轉換 作業效率 卸料 申請 | ||
1.一種硅棒開方設備,其特征在于,包括:
硅棒轉換裝置,包括:轉換工作臺,設有至少一第一硅棒承載臺和至少一第二硅棒承載臺;轉換驅動機構,用于驅動所述轉換工作臺作轉換運動以令所述至少一第一硅棒承載臺和所述至少一第二硅棒承載臺在等待區和切割區之間轉換;以及
線切割裝置,設有與切割區對應的至少一線切割單元;所述至少一線切割單元用于對所述硅棒轉換裝置中對應于切割區的至少一第一硅棒承載臺或至少一第二硅棒承載臺所承載的待切割硅棒進行開方切割。
2.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述轉換驅動機構為轉動機構,所述轉動機構包括:
轉動軸,連接于所述轉換工作臺;以及
轉動驅動源,與所述轉動軸相連,用于驅動所述轉動軸轉動以帶動所述轉換工作臺轉動。
3.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述轉換驅動機構為平移機構,所述平移機構包括:
平移導軌,鋪設于工件加工臺上;
滑塊,設于所述轉換工作臺的底部;以及
平移驅動源。
4.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,還包括臨設于所述硅棒轉換裝置的硅棒裝卸裝置,包括:
換向載具,設有硅棒夾具;以及
換向驅動機構,用于驅動所述換向載具作換向運動以令所述硅棒夾具夾持待切割硅棒并將待切割硅棒由裝卸區轉運至對應于等待區的所述至少一第一硅棒承載臺或所述至少一第二硅棒承載臺,或,夾持對應于等待區的所述至少一第一硅棒承載臺或所述至少一第二硅棒承載臺上的已開方硅棒并將已開方硅棒由等待區轉運至裝卸區。
5.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,還包括設于所述至少一第一硅棒承載臺和所述至少一第二硅棒承載臺周邊的邊皮頂托機構,用于頂托待切割硅棒進行開方切割后所形成的邊皮。
6.根據權利要求5所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮頂托機構包括:
活動承托件;以及
鎖定控制件,用于在活動承托件抵靠于待切割硅棒的底部時將所述活動承托件控制在鎖定狀態。
7.根據權利要求1所述的硅棒開方設備,其特征在于,還包括邊皮卸料裝置,用于將所述線切割裝置進行切割后形成的邊皮予以卸料。
8.根據權利要求7所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮卸料裝置包括:錯開機構,用于驅動邊皮和已開方硅棒發生相對升降位移,使得所述邊皮的頂端凸出于所述已開方硅棒。
9.根據權利要求8所述的硅棒開方設備,其特征在于,所述邊皮卸料裝置還包括:夾持轉運機構,用于夾持住所述邊皮的頂端并拉升所述邊皮以脫離所述已開方硅棒以及將所述邊皮轉運至邊皮卸料區。
10.一種硅棒轉換裝置,應用于硅棒開方設備中,其特征在于,所述硅棒轉換裝置包括:
轉換工作臺,設有至少一第一硅棒承載臺和至少一第二硅棒承載臺;以及
轉換驅動機構,用于驅動所述轉換工作臺作轉換運動以令所述至少一第一硅棒承載臺和所述至少一第二硅棒承載臺在等待區和切割區之間轉換。
11.根據權利要求10所述的硅棒轉換裝置,其特征在于,所述轉換驅動機構為轉動機構,所述轉動機構包括:
轉動軸,連接于所述轉換工作臺;以及
轉動驅動源,與所述轉動軸相連,用于驅動所述轉動軸轉動以帶動所述轉換工作臺轉動。
12.根據權利要求10所述的硅棒轉換裝置,其特征在于,所述轉換驅動機構為平移機構,所述平移機構包括:
平移導軌,鋪設于工件加工臺上;
滑塊,設于所述轉換工作臺的底部;以及
平移驅動源。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江集英精密機器有限公司,未經浙江集英精密機器有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810135530.5/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:晶圓加工方法
- 下一篇:硅棒開方設備、硅棒開方方法及邊皮卸載裝置





