[發(fā)明專利]硬掩模用組合物

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810130570.0
• 申請(qǐng)日: 2018-02-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108508702A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁敦植;梁振錫;樸根永;崔漢永;崔相俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東友精細(xì)化工有限公司;崔相俊
• 主分類號(hào): G03F7/11
• 分類號(hào): G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋?；?/td>

1.一種硬掩模用組合物，其包含含有下述化學(xué)式1的重復(fù)單元的聚合物及溶劑，

化學(xué)式1

式中，Ar₁和Ar₂各自獨(dú)立地為苯二基或萘二基，

Ar₃和Ar₄各自獨(dú)立地為苯基或萘基，

Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄的氫原子各自獨(dú)立地可以被羥基取代，

選自由Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄組成的組中的至少兩個(gè)可以將彼此的氫原子取代而連接形成環(huán)，

n為1～200的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學(xué)式1的重復(fù)單元包含選自由下述化學(xué)式1-1～1-3組成的組中的至少一種重復(fù)單元，

化學(xué)式1-1

化學(xué)式1-2

化學(xué)式1-3

式中，Ar₁和Ar₂各自獨(dú)立地為苯二基或萘二基，

Ar₃和Ar₄各自獨(dú)立地為苯基或萘基，

Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄的氫原子各自獨(dú)立地可以被羥基取代，

選自由Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄組成的組中的至少兩個(gè)可以將彼此的氫原子取代而連接形成環(huán)，

n為1～200的整數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學(xué)式1的重復(fù)單元包含選自由下述化學(xué)式1-2和1-3組成的組中的至少一種重復(fù)單元，

化學(xué)式1-2

化學(xué)式1-3

式中，Ar₁和Ar₂各自獨(dú)立地為苯二基或萘二基，

Ar₃和Ar₄各自獨(dú)立地為苯基或萘基，

Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄的氫原子各自獨(dú)立地可以被羥基取代，

選自由Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄組成的組中的至少兩個(gè)可以將彼此的氫原子取代而連接形成環(huán)，

n為1～200的整數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬掩模用組合物，所述化學(xué)式1的重復(fù)單元包含選自由下述化學(xué)式2-1～2-2組成的組中的至少一種重復(fù)單元，

化學(xué)式2-1

式中，Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄各自獨(dú)立地為苯二基或萘二基，且氫原子可以被羥基取代，n為1～200的整數(shù)，

化學(xué)式2-2

式中，Ar₁為苯基或萘基，

Ar₂和Ar₄各自獨(dú)立地為苯二基或萘二基，

Ar₃為苯三基或萘三基，

Ar₁、Ar₂、Ar₃和Ar₄的氫原子各自獨(dú)立地可以被羥基取代，

n為1～200的整數(shù)。