[發(fā)明專利]激光輔助的玻璃料封裝方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810130530.6
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN108461657B
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任書銘;陳海華;黃元昊
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 31295 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王宏婧

1.一種激光輔助的玻璃料封裝方法，其特征在于，包括：

步驟1：離線測量玻璃料的膜厚與激光功率關(guān)系；

步驟2：載有玻璃料的玻璃基板上傳至工件臺，對所述玻璃料進(jìn)行膜厚測量；

步驟3：位置信息處理模塊反饋玻璃料上的膜厚測量點(diǎn)的位置信息；

步驟4：主機(jī)模塊根據(jù)玻璃料的膜厚和對應(yīng)位置信息，計(jì)算完成整個(gè)玻璃料的激光功率調(diào)整時(shí)序，并將信息反饋至激光掃描模塊；

步驟5：激光掃描模塊根據(jù)接收到的信息進(jìn)行玻璃料封裝；

所述步驟1包括：

設(shè)定激光的掃描速度；

使用不同激光功率對直線段的同一膜厚的玻璃料進(jìn)行掃描封裝；

對封裝后的玻璃料進(jìn)行切片觀察，以確定與該膜厚對應(yīng)的激光功率；

計(jì)算膜厚與激光功率之間的對應(yīng)關(guān)系。

2.如權(quán)利要求1所述的激光輔助的玻璃料封裝方法，其特征在于，所述步驟2中在對玻璃基板進(jìn)行調(diào)焦調(diào)平的同時(shí)進(jìn)行所述膜厚測量。

3.如權(quán)利要求1所述的激光輔助的玻璃料封裝方法，其特征在于，所述步驟1中，根據(jù)比爾-朗伯定律公式確定膜厚與激光功率的對應(yīng)關(guān)系。

4.如權(quán)利要求1所述的激光輔助的玻璃料封裝方法，其特征在于，所述步驟2中，采用三角測量法測試玻璃料的膜厚。

5.如權(quán)利要求1所述的激光輔助的玻璃料封裝方法，其特征在于，所述步驟2包括：

工件臺帶動玻璃料移動至玻璃料的測量點(diǎn)，調(diào)整測量光路使其與玻璃料保持垂直；

通過工件臺調(diào)整玻璃料的垂向位置與角度，使圖像探測器收集到測量點(diǎn)的干涉條紋信息，并反饋至主機(jī)模塊；

主機(jī)模塊計(jì)算出該測量點(diǎn)的膜厚值。