[發(fā)明專利]一種測試加載晶圓盒的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810127472.1 | 申請日： | 2018-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN108511357A | 公開（公告）日： | 2018-09-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王玉龍;凌儉波;王錦;湯雪飛;吳勇佳 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吳寶根;徐穎 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區(qū)中國(*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶圓盒 測試 加載 晶圓 區(qū)域增加 生產(chǎn)效率 連貫性 擱置區(qū) 探針臺 復(fù)測 擱置 保證 | ||
1.一種測試加載晶圓盒的方法，探針臺上分測試區(qū)域和擱置晶圓盒的區(qū)域，晶圓盒從擱置晶圓盒區(qū)域內(nèi)下移到固定位置，并通過里面的機(jī)械托盤將晶圓放置到晶圓測試區(qū)域內(nèi)，進(jìn)行測試，其特征在于，有兩個(gè)擱置區(qū)域A和B，初始兩個(gè)晶圓盒A和B分別放置在晶圓盒擱置區(qū)域A和晶圓盒擱置區(qū)域B同時(shí)待測；探針臺如選擇晶圓盒A先進(jìn)行測試，則晶圓盒A下沉后進(jìn)入測試區(qū)域進(jìn)行測試，晶圓盒B停留在晶圓盒擱置區(qū)域B內(nèi)，當(dāng)晶圓盒A里的晶圓全部完成測試后，晶圓盒A放回晶圓盒擱置區(qū)域A，晶圓盒擱置區(qū)域B內(nèi)的晶圓盒B進(jìn)入測試區(qū)域進(jìn)行測試，當(dāng)工程師確認(rèn)晶圓盒A測試數(shù)據(jù)無異常后，移走晶圓盒A，更換晶圓盒C到擱置區(qū)域A內(nèi)待測；當(dāng)晶圓盒B里的晶圓全部完成測試后，將晶圓盒B放回?cái)R置區(qū)域B，等待工程師確認(rèn)晶圓盒B測試數(shù)據(jù)，同時(shí)直接加載晶圓盒C進(jìn)入測試區(qū)繼續(xù)測試；一旦工程師發(fā)現(xiàn)晶圓盒B測試數(shù)據(jù)異常，先將當(dāng)前測試的晶圓盒退出到原來位置，加載之前保留在探針臺里的已測晶圓盒進(jìn)行復(fù)測，復(fù)測完后繼續(xù)返回原擱置位置，等待工程確認(rèn)復(fù)測數(shù)據(jù)，如復(fù)測數(shù)據(jù)與上次測試相同，判斷數(shù)據(jù)無誤，如數(shù)據(jù)有差別，那再次進(jìn)行第2次復(fù)測，直到確定測試數(shù)據(jù)無誤，數(shù)據(jù)無誤后所擱置的區(qū)域更換晶圓盒。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
