[發明專利]位置檢測裝置

有效

• 申請號: 201810126879.2
• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN108180836B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 佐藤浩司
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G03F7/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

1.一種位置檢測裝置，該位置檢測裝置包括：

檢測單元，其被構造為對由包括在第一方向上排列的多個圖案的第一衍射光柵與包括在所述第一方向上排列的多個圖案的第二衍射光柵之間的交疊引起的莫爾條紋進行檢測；以及

處理單元，其被構造為基于所述莫爾條紋獲得所述第一衍射光柵與所述第二衍射光柵的相對位置，

其中，第一衍射光柵的多個圖案的周期間距是不變的，且第二衍射光柵的多個圖案的周期間距是不變的，

其中，第一衍射光柵的多個圖案的周期與第二衍射光柵的多個圖案的周期彼此不同，并且

其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案的端部圖案的寬度，小于所述第一衍射光柵的所述多個圖案的剩余圖案的寬度，或者

其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案的端部圖案的寬度，小于所述第一衍射光柵的所述多個圖案的剩余圖案的寬度，并且所述第二衍射光柵的所述多個圖案的端部圖案的寬度，小于所述第二衍射光柵的所述多個圖案的剩余圖案的寬度。

2.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述剩余圖案在所述第一方向上的寬度相同。

3.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述端部圖案在所述第一方向上的寬度是所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述剩余圖案在所述第一方向上的寬度的1/2。

4.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述端部圖案與最接近所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述端部圖案的其他圖案在所述第一方向上的間隔，比所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述剩余圖案在所述第一方向上的間隔寬。

5.根據權利要求4所述的位置檢測裝置，其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案的所述剩余圖案在所述第一方向上的間隔相同。

6.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其中，所述第一衍射光柵和所述第二衍射光柵中的至少一個衍射光柵包括在與所述第一方向垂直的第二方向上排列的多個圖案。

7.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，其中，所述第一衍射光柵的所述多個圖案中的各個包括多段。

8.根據權利要求1所述的位置檢測裝置，所述位置檢測裝置還包括：

照明光學系統，其被構造為利用在所述第一方向上垂直入射的光和在所述第一方向上平行入射的光，來照明所述第一衍射光柵和所述第二衍射光柵。

9.一種壓印裝置，其使基板上的壓印材料成型并且在所述基板上形成圖案，所述壓印裝置包括：

根據權利要求1至8中任一項的位置檢測裝置；以及

控制單元，其被構造為基于相對位置將模具與基板對準。

10.一種制造物品的方法，所述方法包括：

使用根據權利要求9的壓印裝置在基板上形成圖案；以及

對形成有圖案的基板進行處理。