[發明專利]衍射光柵的制造方法

在審

• 申請號: 201810122963.7
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN108470596A
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 土岐貴弘;和田幸久;德田敏;林信和;吉牟田利典
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G21K1/06
• 分類號: G21K1/06
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

本發明提供一種衍射光柵的制造方法。該衍射光柵的制造方法具備如下工序：利用投影到多個單位衍射光柵的周期性的圖案和多個單位衍射光柵生成莫爾條紋；以及基于所生成的莫爾條紋的形狀，使多個單位衍射光柵中的至少1個單位衍射光柵相對于其他至少1個單位衍射光柵相對地旋轉，從而調整成光柵所延伸的方向一致的狀態。

技術領域

本發明涉及衍射光柵的制造方法。

背景技術

以往，公知有X射線拍攝裝置所具備的衍射光柵。這樣的衍射光柵被例如國際公開第2009/104560號公開。

在國際公開第2009/104560號中公開有一種X射線拍攝裝置，該X射線拍攝裝置具備：X射線源，其產生X射線；第1光柵，其使從X射線源產生的X射線發生衍射；第2光柵，其使利用第1光柵發生了衍射的X射線再次發生衍射而產生莫爾條紋圖案；以及X射線圖像檢測器，其對利用第2光柵產生的莫爾條紋圖案進行檢測。國際公開第2009/104560號的X射線拍攝裝置構成為，根據在將被攝體配置在X射線源與第1光柵之間或者第1光柵與第2光柵之間的狀態下對被攝體進行了X射線拍攝的情況的莫爾條紋圖案、以及在沒有配置被攝體的狀態下進行了拍攝的情況的莫爾條紋圖案，生成包含對由于通過了被攝體而產生的X射線的相位偏離進行圖像化而生成的X射線相位對比圖像在內的X射線圖像。

在國際公開第2009/104560號那樣的X射線拍攝裝置中，為了增大一次能夠拍攝的視場范圍，存在如下需求：想要通過增大配置于X射線圖像檢測器的上游且是配置于其附近的第2光柵的面積而大范圍地形成莫爾條紋圖案，來增大拍攝范圍。因此，作為使拍攝面積大面積化的方法，想到將多個衍射光柵(單位衍射光柵)固定于通用的基板來謀求大面積化的方法。

在此，在國際公開第2009/104560號那樣的X射線拍攝裝置中，在以將多個衍射光柵(單位衍射光柵)配置于通用的基板的方式構成了第2光柵的情況下，通過使利用第1光柵發生了衍射的X射線利用第2光柵再次發生衍射，從而生成了莫爾條紋圖案。然而，在國際公開第2009/104560號那樣的X射線拍攝裝置中，在沒有調整成第2光柵中的多個衍射光柵的光柵所延伸的方向一致的狀態的情況下，存在如下問題點：由于針對每個衍射光柵而言，莫爾條紋圖案有所不同，因此導致產生X射線圖像發生變形等圖像質量的劣化。

發明內容

本發明是為了解決上述那樣的問題而做成的，本發明的目的之一在于，提供一種謀求大面積化、并且能夠抑制X射線圖像的伴隨著莫爾條紋的形狀的差異而產生的圖像質量的劣化的衍射光柵的制造方法。

為了達成上述目的，本發明的一個技術方案的衍射光柵的制造方法具備如下工序：利用投影到多個單位衍射光柵的周期性的圖案和多個單位衍射光柵生成莫爾條紋；以及基于所生成的莫爾條紋的形狀，使多個單位衍射光柵中的至少1個單位衍射光柵相對于多個單位衍射光柵中的其他至少1個單位衍射光柵相對地旋轉，從而調整成光柵所延伸的方向一致的狀態。

在本發明的一個技術方案的衍射光柵的制造方法中，如上所述，構成為具備如下工序：基于所生成的莫爾條紋的形狀，使多個單位衍射光柵中的至少1個單位衍射光柵相對于多個單位衍射光柵中的其他至少1個單位衍射光柵相對地旋轉，從而調整成光柵所延伸的方向一致的狀態。通過該工序，能夠制造以多個單位衍射光柵中的至少兩個單位衍射光柵的莫爾條紋的形狀成為同等的方式配置的衍射光柵。其結果，能夠避免由莫爾條紋的形狀的差異導致的圖像質量的劣化，并且謀求衍射光柵的大面積化。另外，與使用顯微鏡和標記來對多個單位衍射光柵的光柵所延伸的方向直接進行調整的情況不同，能夠基于實際形成的莫爾條紋的形狀來對多個單位衍射光柵的光柵所延伸的方向進行調整。由此，能夠可靠地抑制多個單位衍射光柵的光柵所延伸的方向產生偏離。