[發明專利]衍射光柵的制造方法

在審

• 申請號: 201810122963.7
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN108470596A
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 土岐貴弘;和田幸久;德田敏;林信和;吉牟田利典
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G21K1/06
• 分類號: G21K1/06
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種衍射光柵的制造方法，其具備如下工序：

利用投影到多個單位衍射光柵的周期性的圖案和所述多個單位衍射光柵生成莫爾條紋；以及

基于所生成的所述莫爾條紋的形狀，使所述多個單位衍射光柵中的至少1個單位衍射光柵相對于所述多個單位衍射光柵中的其他至少1個單位衍射光柵相對地旋轉，從而調整成光柵所延伸的方向一致的狀態。

2.根據權利要求1所述的衍射光柵的制造方法，其中，

所述多個單位衍射光柵包括第1單位衍射光柵和第2單位衍射光柵，

使所述多個單位衍射光柵中的至少1個單位衍射光柵相對地旋轉的工序包括如下工序：

基于由所述第1單位衍射光柵和所述周期性的圖案生成的第1莫爾條紋的周期及由所述第2單位衍射光柵和所述周期性的圖案生成的第2莫爾條紋的周期，使所述第1單位衍射光柵相對于所述第2單位衍射光柵相對地旋轉，從而調整成光柵所延伸的方向一致的狀態。

3.根據權利要求2所述的衍射光柵的制造方法，其中，

該衍射光柵的制造方法還具備使所述第1單位衍射光柵相對于基板固定的工序，

使所述第1單位衍射光柵相對于所述第2單位衍射光柵相對地旋轉的工序包括，使所述第2單位衍射光柵相對于所述基板和固定于所述基板的所述第1單位衍射光柵相對地旋轉來調整成光柵所延伸的方向一致的狀態的工序，

在使所述第2單位衍射光柵相對于所述第1單位衍射光柵相對地旋轉來調整成光柵所延伸的方向一致的狀態的工序之后，還具備使所述第2單位衍射光柵相對于所述基板固定的工序。

4.根據權利要求3所述的衍射光柵的制造方法，其中，

使所述第2單位衍射光柵相對于固定于所述基板的所述第1單位衍射光柵相對地旋轉來調整成光柵所延伸的方向一致的狀態的工序包括，在使所述基板和所述第1單位衍射光柵固定的狀態下使所述第2單位衍射光柵旋轉的工序。

5.根據權利要求3所述的衍射光柵的制造方法，其中，

使所述第2單位衍射光柵相對于固定于所述基板的所述第1單位衍射光柵相對地旋轉來調整成光柵所延伸的方向一致的狀態的工序包括，在使所述第2單位衍射光柵固定的狀態下使所述基板和所述第1單位衍射光柵旋轉的工序。

6.根據權利要求3～5中任一項所述的衍射光柵的制造方法，其中，

所述多個單位衍射光柵除了所述第1單位衍射光柵和所述第2單位衍射光柵以外還包括第3單位衍射光柵，

在使所述第2單位衍射光柵相對于所述基板固定的工序之后，還具備使所述第3單位衍射光柵相對于固定于所述基板的所述第1單位衍射光柵或所述第2單位衍射光柵相對地旋轉來調整成光柵所延伸的方向一致的狀態的工序：

在使所述第3單位衍射光柵相對于所述第1單位衍射光柵或所述第2單位衍射光柵相對地旋轉來調整成光柵所延伸的方向一致的狀態的工序之后，還具備使所述第3單位衍射光柵相對于所述基板固定的工序。