[發明專利]溶液回收裝置及加工設備

在審

• 申請號: 201810122603.7
• 申請日: 2018-02-07
• 公開（公告）號: CN108267937A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 呂良
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本發明提供一種溶液回收裝置，包括儲液容器及至少一個消泡結構，每個消泡結構包括消泡容器及隔板，所述隔板設于所述消泡容器內進而將所述消泡容器分隔成相互連通的第一腔室及第二腔室，所述第一腔室的側壁貫通開設輸入口，所述第二腔室的側壁貫通開設輸出口，每個消泡容器的輸出口與所述儲液容器連通，所述隔板用于阻擋從所述輸入口輸入所述第一腔室的泡沫進入所述第二腔室。本發明實施例提供的溶液回收裝置及加工設備，由于消泡結構消除了輸入所述消泡結構內溶液的泡沫，使得進入所述儲液容器內的溶液沒有泡沫，提高了所述儲液容器內溶液的潔凈度，進而提高了加工良率本發明還提供一種具該溶液回收裝置的加工設備。

技術領域

本發明涉及制造技術領域，特別涉及一種溶液回收裝置及具該溶液回收裝置的加工設備。

背景技術

在顯示面板制造中，基板經曝光后進入顯示設備進行顯影，根據顯影特性，利用噴嘴噴灑顯影液將前段曝光部分的光阻溶解掉，未受光部分的光阻保留，形成相應的圖形。而顯影液經管路回收到回收容器中進行重復利用。所述顯影液在反復的使用過程中會使顯影液中光阻的濃度增加，在重力作用下經管路排往所述回收容器中的過程中易在管路中產生大量的泡沫，這些泡沫進入到所述回收容器中造成回收的顯影液潔凈度不高，影響再次利用時生產的良率。

發明內容

為了解決前述問題，本發明提供一種溶液回收裝置及具該溶液回收裝置的加工設備。

一種溶液回收裝置，其包括儲液容器及至少一個消泡結構，每個消泡結構包括消泡容器及隔板，所述隔板設于所述消泡容器內進而將所述消泡容器分隔成相互連通的第一腔室及第二腔室，所述第一腔室的側壁貫通開設輸入口，所述第二腔室的側壁貫通開設輸出口，每個消泡容器的輸出口與所述儲液容器連通，所述隔板用于阻擋所述第一腔室中的泡沫進入所述第二腔室。

進一步地，所述第一腔室的側壁還間隔所述輸入口開設排出口，所述溶液回收裝置還包括排污管，所述第一腔室通過所述排出口與所述排污管連通，用于將所述泡沫從所述第一腔室排出至所述排污管。

進一步地，所述排污管與所述儲液容器連通。

進一步地，所述消泡容器包括依次連接設置的頂板、第一側板、底板及第二側板，所述頂板與所述底板相對設置，所述第一側板與所述第二側板相對設置，所述隔板裝設于所述頂板上進而形成所述第一腔室及所述第二腔室，所述輸入口貫通開設于所述第一側板上，所述輸出口貫通開設于所述第二側板上。

進一步地，所述溶液回收裝置還包括防溢管，所述防溢管穿設于所述儲液容器的底部，所述防溢管的入口位于所述儲液容器內，所述防溢管用于防止溶液出所述儲液容器。

一種加工設備，包括噴淋裝置、收集裝置及如上所述的溶液回收裝置，所述噴淋裝置用于噴射溶液，所述收集裝置用于收集所述噴淋裝置噴射的溶液，所述收集裝置與所述至少一個消泡結構的輸入口連通。

進一步地，所述加工設備還包括過濾器，所述過濾器與所述儲液容器及所述噴淋裝置連通，所述過濾器用于將來自所述儲液容器的溶液進行過濾后再輸送至所述噴淋裝置進行循環利用。

進一步地，所述加工設備還包括設于所述儲液容器內的液位偵測器，用于偵測所述儲液容器內的液位。

進一步地，所述加工設備還包括處理器，所述處理器與所述噴淋裝置及所述液位偵測器電性連接，當所述處理器確定所述液位偵測器偵測到的液位值低于第一預設值時，則控制所述噴淋裝置停止噴淋。

進一步地，所述加工設備還包括補液裝置，當所述處理器確定所述液位偵測器偵測到的液位值低于第一預設值時，則控制所述補液裝置進行補液；當所述處理器確定所述液位偵測器偵測到的液位值達到第二預設值時，所述處理器控制關閉所述補液裝置。