[發明專利]基板保持旋轉裝置及具備該裝置的基板處理裝置及方法

有效

• 申請號: 201810114203.1
• 申請日: 2018-02-05
• 公開（公告）號: CN108630566B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 石井弘晃;村元僚
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687;H01L21/02
• 代理公司: 成都超凡明遠知識產權代理有限公司 51258
• 代理人: 魏彥

1.一種基板保持旋轉裝置，一邊將基板保持為水平，一邊使所述基板圍繞沿著鉛垂方向延伸的規定的旋轉軸線旋轉，其特征在于，包括：

多個可動銷，沿著以所述旋轉軸線為中心的圓周排列，并且分別具有支撐部，所述支撐部通過與基板的周緣部接觸來支撐基板，

旋轉單元，使所述多個可動銷圍繞所述旋轉軸線旋轉；

所述多個可動銷包括：

第一銷組，至少包括3個可動銷，

第二銷組，至少包括3個可動銷；

所述第一銷組所含的各可動銷的所述支撐部，能夠在保持位置所包括的第一保持位置和所述保持位置所包括的第二保持位置之間移動，并且能夠在所述第一保持位置和所述第二保持位置與遠離所述旋轉軸線的開放位置之間移動，所述第一保持位置是接近所述旋轉軸線的規定的位置，所述第二保持位置接近所述旋轉軸線并且在周方向的一方與所述第一保持位置相隔離，

所述第二銷組所含的各可動銷的所述支撐部，能夠在接近所述旋轉軸線的所述保持位置與遠離所述旋轉軸線的所述開放位置之間移動，

在所述第一銷組所含的各可動銷的所述支撐部位于所述保持位置，并且所述第二銷組所含的各可動銷的所述支撐部位于所述開放位置的情況下，能夠由所述第一銷組所含的各可動銷支撐基板，

所述基板保持旋轉裝置還包括第一移動單元，所述第一移動單元使所述第一銷組所含的各可動銷的所述支撐部，一邊維持位于所述保持位置的狀態一邊在所述第一保持位置與所述第二保持位置之間沿周方向移動。

2.如權利要求1所述的基板保持旋轉裝置，其特征在于，

所述第一移動單元包括第一周方向移動單元，所述第一周方向移動單元使所述第一銷組所含的各可動銷，在第一周方向位置與第二周方向位置之間移動，所述第二周方向位置在周方向的所述一方與所述第一周方向位置相隔離，

所述第一保持位置，是所述第一銷組所含的各可動銷位于所述第一周方向位置時的所述支撐部的所述保持位置，

所述第二保持位置，是所述第一銷組所含的各可動銷位于所述第二周方向位置時的所述支撐部的所述保持位置。

3.如權利要求2所述的基板保持旋轉裝置，其特征在于，

所述基板保持旋轉裝置還包括：

旋轉基座，與所述旋轉單元相連結，

銷支撐構件，對所述第一銷組所含的各可動銷進行支撐，能夠隨著所述旋轉基座一起旋轉，并且能夠相對于所述旋轉基座相對轉動；

所述第二銷組所含的各可動銷能夠隨著所述旋轉基座一起旋轉，

所述第一周方向移動單元還包括轉動單元，所述轉動單元使所述銷支撐構件相對于所述旋轉基座而圍繞所述旋轉軸線相對轉動。

4.如權利要求1所述的基板保持旋轉裝置，其特征在于，

在所述第二銷組所含的各可動銷的所述支撐部位于所述保持位置，并且所述第一銷組所含的各可動銷的所述支撐部位于所述開放位置的情況下，能夠由所述第二銷組所含的各可動銷支撐基板，

所述基板保持旋轉裝置還包括：

第二移動單元，使所述第二銷組所含的各可動銷的所述支撐部，在所述開放位置與所述保持位置之間移動，

控制裝置，用于對所述第一移動單元以及所述第二移動單元進行控制；

所述控制裝置執行如下工序：

第一周方向移動工序，在所述第一銷組所含的各可動銷位于所述保持位置，并且所述第二銷組所含的各可動銷位于所述開放位置的狀態下，通過所述第一移動單元，使所述第一銷組所含的各可動銷的所述支撐部，在周方向上從所述第一保持位置移動到所述第二保持位置，

第一移動工序，在所述第一周方向移動工序結束后，通過所述第二移動單元，使所述第二銷組所含的各可動銷的所述支撐部，從所述開放位置移動到所述保持位置。