[發明專利]一種液箱和液體循環裝置

在審

• 申請號: 201810097819.2
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN110090471A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 劉偉;高玉英
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明公開了一種液箱和液體循環裝置。其中，液箱包括箱體、設置于所述箱體內的隔離板和連通所述箱體內部與外界環境的排氣管；所述隔離板將所述箱體分隔成進液腔和出液腔，所述進液腔的底部與所述出液腔的底部相連通，所述進液腔的頂部與所述出液腔的頂部相連通；所述隔離板用于阻隔在所述進液腔產生的氣泡流向所述出液腔，所述排氣管用于排出溢出的所述氣泡。本發明解決了手動排氣無法完全避免氣泡被泵體吸入循環管路，操作麻煩，且有液體泄漏風險的問題，本發明的液箱可實現自動排氣，避免產生的氣泡進入液體循環管路，降低液體泄露風險，結構簡單且成本低。

技術領域

本發明實施例涉及液體循環系統技術領域，尤其涉及一種液箱和液體循環裝置。

背景技術

液體循環系統或設備被廣泛應用于各行各業中，如：暖通空調行業的風機盤管系統，半導體行業的光刻機環境分系統和刻蝕機外部輔助液體溫控設備等。

在對設備運行環境要求高的設備中，液體循環系統是保證設備正常運行的重要保證。在半導體設備尤其是精度極高的光刻機中，液體循環系統需要持續可靠地提供光刻機正常工作的運行環境。

然而，在液體循環系統中空氣氣泡的產生會影響循環系統的正常工作。如產生的氣泡會對液體泵造成損壞(氣蝕)，由循環液體回流產生的氣泡進入泵體內部會加速泵的磨損，產生震動和噪聲，降低泵的性能，長期下去會破壞過流部件。

因此，需要對產生的氣泡進行及時處理，防止氣泡被運行的泵體吸入循環管路。通常，會在循環系統中加入排氣閥，通過定期手動排氣。但由于循環管路在不間斷地進行液體循環，因此氣泡的產生也是連續的，定期手動排氣無法完全避免氣泡被泵體吸入循環管路。另外，由于建筑空間有限，留出維修維護區域很有限，出現氣體進入循環管路問題時手動排氣極不方便，而且需要開啟泵罐泵放空，操作麻煩，且有泄漏風險。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的是提出一種液箱和液體循環裝置，以自動排氣，避免產生的氣泡進入液體循環管路，且降低液體泄露風險。

為實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

一方面，本發明實施例提供了一種液箱，包括箱體、設置于箱體內的隔離板和連通箱體內部與外界環境的排氣管；

隔離板將箱體分隔成進液腔和出液腔，進液腔的底部與出液腔的底部相連通，進液腔的頂部與出液腔的頂部相連通；

隔離板用于阻隔在進液腔產生的氣泡流向出液腔，排氣管用于排出溢出的氣泡。

另一方面，本發明實施例還提供了一種液體循環裝置，包括上述第一方面所述的液箱。

本發明的有益效果是：本發明提供的液箱和液體循環裝置，通過在液箱的箱體內設置隔離板，使隔離板阻隔在進液腔產生的氣泡流向出液腔。如在液體循環裝置中液體循環管路的液體流回進液腔，或向進液腔注入液體時，進液腔的液體受到較大的擾動會產生氣泡，而產生的流向出液腔的氣泡會受到隔離板的阻隔，之后，該部分氣泡將在進液腔的液體中上升并浮出液面，形成的氣體通過排氣管排出液箱，實現自動排氣，降低人工排氣時液體泄露風險，同時避免了氣泡流至出液腔后進入液體循環管路，從而防止氣泡損壞(氣飾)液體泵(水泵)，有效保護過流部件(泵體、泵蓋、葉輪、密封環、泵軸和軸套等)。

附圖說明

下面將通過參照附圖詳細描述本發明的示例性實施例，使本領域的普通技術人員更清楚本發明的上述及其他特征和優點，附圖中：

圖1是本發明實施例提供的一種液箱的主視圖；

圖2是圖1中液箱的側視圖；

圖3是本發明實施例提供的另一種液箱的主視圖；

圖4是圖1中另一種液箱的側視圖；

圖5是圖1中另一種液箱的側視圖；