[發(fā)明專利]一種液箱和液體循環(huán)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810097819.2
• 申請(qǐng)日: 2018-01-31
• 公開（公告）號(hào): CN110090471A
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉偉;高玉英
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司
• 主分類號(hào): B01D19/02
• 分類號(hào): B01D19/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種液箱，其特征在于，包括箱體、設(shè)置于所述箱體內(nèi)的隔離板和連通所述箱體內(nèi)部與外界環(huán)境的排氣管；

所述隔離板將所述箱體分隔成進(jìn)液腔和出液腔，所述進(jìn)液腔的底部與所述出液腔的底部相連通，所述進(jìn)液腔的頂部與所述出液腔的頂部相連通；

所述隔離板用于阻隔在所述進(jìn)液腔產(chǎn)生的氣泡流向所述出液腔，所述排氣管用于排出溢出的所述氣泡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液箱，其特征在于，還包括連通于所述進(jìn)液腔的進(jìn)液口，所述隔離板的下邊緣低于所述進(jìn)液口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔離板豎直設(shè)置或傾斜設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液箱，其特征在于，所述隔離板包括格柵部，所述格柵部包括至少一個(gè)格柵板，所述格柵板由上到下間隔設(shè)置，所述格柵板的兩側(cè)固定于所述隔離板上；

所述格柵板由所述隔離板向所述出液腔延伸且向下傾斜；或者，所述格柵板由所述隔離板向所述進(jìn)液腔延伸且向上傾斜。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液箱，其特征在于，所述格柵部的上邊緣與所述進(jìn)液口齊平或低于所述進(jìn)液口。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔離板的上邊緣高于所述液箱內(nèi)液體的工作液位。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔離板為平板或曲面板。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液箱，其特征在于，所述隔離板采用焊接、鉚接或螺紋連接的形式固定于所述箱體上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液箱，其特征在于，所述排氣管的出氣口朝上設(shè)置或朝下設(shè)置，所述排氣管的進(jìn)氣口高于所述液箱內(nèi)液體的工作液位。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液箱，其特征在于，所述排氣管由所述箱體內(nèi)向下延伸并貫穿所述箱體底部。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液箱，其特征在于，所述排氣管貫穿所述箱體的側(cè)壁并由所述箱體外向下延伸。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液箱，其特征在于，所述排氣管通過支架固定于所述箱體上。

13.一種液體循環(huán)裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的液箱。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的液體循環(huán)裝置，其特征在于，還包括循環(huán)動(dòng)力模塊、溫控模塊和補(bǔ)液模塊；

所述循環(huán)動(dòng)力模塊用于抽取所述液箱的出液腔中的液體，為所述液體提供循環(huán)流動(dòng)的動(dòng)力，以使所述液體流經(jīng)所述溫控模塊和用液對(duì)象后回到所述液箱的進(jìn)液腔；

所述溫控模塊用于監(jiān)測(cè)控制流進(jìn)和流出所述用液對(duì)象的液體的溫度；

所述補(bǔ)液模塊用于向所述進(jìn)液腔補(bǔ)充液體。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液體循環(huán)裝置，其特征在于，所述循環(huán)動(dòng)力模塊包括水泵。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液體循環(huán)裝置，其特征在于，所述用液對(duì)象包括光刻機(jī)。

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的液體循環(huán)裝置，其特征在于，所述溫控模塊包括制冷單元和/或制熱單元。