[發(fā)明專利]基板、陣列基板及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810094403.5
• 申請(qǐng)日: 2018-01-29
• 公開（公告）號(hào): CN108336095A
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邵源
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L21/84
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

本發(fā)明公開了一種基板、陣列基板及其制備方法，該基板包括柔軟部和多個(gè)硬度高于柔軟部的硬化部，多個(gè)硬化部之間通過(guò)柔軟部連接。本發(fā)明在基板上形成多個(gè)分散的硬化部，當(dāng)顯示面板變形時(shí)，柔軟部發(fā)生變形，而硬化部則不發(fā)生變形或比柔軟部處的變形程度弱，因此硬化部可以保護(hù)設(shè)置在其上的驅(qū)動(dòng)器件不受應(yīng)力影響，避免損壞驅(qū)動(dòng)器件。本發(fā)明可以保持基板及其上膜層不變形且保護(hù)驅(qū)動(dòng)器件，進(jìn)而可以保持顯示面板的顯示效果，提高顯示面板的壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基板、陣列基板及其制備方法。

背景技術(shù)

隨著電子跟顯示技術(shù)的不斷發(fā)展。柔性顯示以其質(zhì)量輕、厚度小、壽命長(zhǎng)、可彎曲等眾多優(yōu)點(diǎn)，逐步得到用戶群體的青睞。同時(shí)成為一種最具發(fā)展?jié)摿Φ南乱淮@示技術(shù)，包括柔性TFT-LCD(thin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶體管液晶顯示器)，柔性O(shè)LED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)等。柔性顯示的實(shí)現(xiàn)，除了對(duì)現(xiàn)有制備工藝及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)進(jìn)行改變外，對(duì)材料性能的部分也提出了新的要求和挑戰(zhàn)。柔性基板作為柔性顯示器的重要組成部分，要求其具有良好的熱穩(wěn)定性，機(jī)械性能，優(yōu)秀的穿透率及阻水氧的性能。因而，如何制備出同時(shí)擁有以上特點(diǎn)的基板成為研究者研究的一個(gè)組要課題。

現(xiàn)在主流的基板材料主要包括超薄玻璃、金屬類以及聚合物薄膜三大類，其中應(yīng)用最多的要數(shù)聚合物柔性基板。如PI(聚酰亞胺)基板材料，以其良好的力學(xué)性能、優(yōu)異的耐化性能、良好的光學(xué)透過(guò)率、可“卷對(duì)卷”生產(chǎn)等特點(diǎn)，成為現(xiàn)有柔性基板的首選材料并得到廣泛的重視。

但是，現(xiàn)有技術(shù)中的柔性基板存在制程后剝離易變形和顯示面板變形時(shí)會(huì)損壞TFT等器件的缺點(diǎn)，進(jìn)而影響顯示面板的顯示效果，降低顯示面板的壽命。

因此，提供一種改進(jìn)的基板實(shí)為必要。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種基板、陣列基板及其制備方法，能夠在基板制程后剝離時(shí)以及在顯示面板變形時(shí)保護(hù)驅(qū)動(dòng)器件。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的第一個(gè)技術(shù)方案是：提供一種基板，該基板包括柔軟部和多個(gè)硬度高于柔軟部的硬化部，多個(gè)硬化部之間通過(guò)柔軟部連接。

其中，基板的材料為聚二甲基硅氧烷，柔軟部未經(jīng)過(guò)曝光處理，硬化部經(jīng)過(guò)曝光處理。

其中，硬化部的形狀包括多邊形、圓形、橢圓形或由多個(gè)弧度的曲線組成的不規(guī)則形中的一種或多種，多個(gè)硬化部呈矩陣式分散地分布在基板上。

其中，硬化部的形狀為方形，硬化部的邊長(zhǎng)范圍為20um-2000um。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的第二個(gè)技術(shù)方案是：提供一種陣列基板，該陣列基板包括上述的基板，至少部分硬化部上設(shè)置有至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器件。

其中，驅(qū)動(dòng)器件包括薄膜晶體管，每個(gè)硬化部上設(shè)置有多個(gè)薄膜晶體管，多個(gè)薄膜晶體管在硬化部上呈矩陣式分布。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的第三個(gè)技術(shù)方案是：提供一種基板的制備方法，包括：獲取柔性基板；將柔性基板上的多個(gè)分散的部位進(jìn)行硬化處理。

其中，獲取柔性基板的步驟包括：在平面基板上涂布剝離層；在剝離層上涂布聚二甲基硅氧烷；對(duì)聚二甲基硅氧烷進(jìn)行干燥處理以形成柔性基板；在將柔性基板上的多個(gè)分散的部位進(jìn)行硬化處理的步驟之后，進(jìn)一步包括步驟：將包括多個(gè)硬化部的柔性基板剝離。

其中，在將柔性基板上的多個(gè)分散的部位進(jìn)行硬化處理的步驟中，對(duì)柔性基板上多個(gè)分散的部位進(jìn)行曝光處理，以使多個(gè)分散的部位硬化，從而形成包括多個(gè)硬化部的柔性基板。