[發明專利]一種基板支撐結構及蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201810093798.7
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108130519A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發明（設計）人: 谷春生;關立偉;張金中;王利娜
• 申請（專利權）人: 鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

本發明公開了一種基板支撐結構及蒸鍍設備，涉及顯示面板制造技術領域，可解決現有技術中在基板偏移時會導致破片而影響正常生產的問題。該基板支撐結構包括支撐件，所述支撐件用于支撐基板的邊緣，所述支撐件上設有滑動件和定位件，所述滑動件與所述支撐件沿豎直方向滑動連接，所述定位件用于對所述滑動件進行定位，以使所述滑動件的頂端高于所述支撐件的支撐面，當所述滑動件向下擠壓所述定位件時，所述定位件可允許所述滑動件向下滑動，隨著所述滑動件的向下滑動，所述滑動件的頂端可低于或平齊于所述支撐件的支撐面。本發明用于支撐基板。

技術領域

本發明涉及顯示面板制造技術領域，尤其涉及一種基板支撐結構及蒸鍍設備。

背景技術

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)顯示屏背板的制作過程中，通過機械手搬運基板的工藝較多，單單蒸鍍方面就有很多的有機腔室，需要通過機械手將基板搬運進去，有機腔室內設有多個基板支撐結構，多個基板支撐結構用于支撐基板的一周，機械手將基板放上來之后，多個基板支撐結構帶動基板上升，使基板貼在上方的散熱板(Cooling Plate)上，然后再進行蒸鍍工藝。

現有技術中的基板支撐結構如圖1和圖2所示，參照圖1，支撐面01用于支撐基板02的邊緣，阻擋面03用于阻擋基板02的側面，以對基板02在水平方向上進行限位；然而，在機械手搬運基板02的過程中，基板02因多種原因有可能會發生偏移，致使基板02會搭在基板支撐結構的頂面04上，參照圖2，隨后基板支撐結構帶動基板02上升就會導致基板02與上方的散熱板碰撞，進而導致破片，進而造成掩膜版損傷，影響正常生產。

發明內容

本發明的實施例提供一種基板支撐結構及蒸鍍設備，可解決現有技術中在基板偏移時會導致破片而影響正常生產的問題。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例提供了一種基板支撐結構，包括支撐件，所述支撐件用于支撐基板的邊緣，所述支撐件上設有滑動件和定位件，所述滑動件與所述支撐件沿豎直方向滑動連接，所述定位件用于對所述滑動件進行定位，以使所述滑動件的頂端高于所述支撐件的支撐面，當所述滑動件向下擠壓所述定位件時，所述定位件可允許所述滑動件向下滑動，隨著所述滑動件的向下滑動，所述滑動件的頂端可低于或平齊于所述支撐件的支撐面。

進一步的，所述定位件為彈簧，所述彈簧一端與所述滑動件連接，另一端與所述支撐件連接，當所述彈簧呈原長狀態時，所述彈簧可對所述滑動件進行定位，當所述滑動件向下擠壓所述彈簧時，所述彈簧可發生彈性形變，以允許所述滑動件向下滑動。

進一步的，所述支撐面上開設有安裝槽，所述彈簧沿豎直方向設于所述安裝槽內，所述彈簧的底端與所述安裝槽連接，頂端與所述滑動件連接。

進一步的，所述滑動件包括豎直板和水平板，所述豎直板位于所述支撐面上的支撐位置和所述水平板之間，所述水平板與所述豎直板的頂端連接。

進一步的，所述彈簧的頂端與所述水平板的下表面連接，所述支撐面上對應所述豎直板的位置開設有避讓槽。

進一步的，所述水平板與所述豎直板的頂端通過斜板連接。

進一步的，所述支撐面上對應所述豎直板的位置設有凹陷部。

進一步的，所述彈簧為方形螺旋彈簧。

進一步的，所述支撐件和所述滑動件均由ESD PEEK材料制作。

本發明實施例還提供了一種蒸鍍設備，包括蒸鍍腔室，所述蒸鍍腔室內設有多個上述任一技術方案所述的基板支撐結構，多個所述基板支撐機構用于支撐所述基板的一周。