[發(fā)明專利]一種基板支撐結(jié)構(gòu)及蒸鍍設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810093798.7
• 申請日: 2018-01-31
• 公開（公告）號: CN108130519A
• 公開（公告）日: 2018-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 谷春生;關(guān)立偉;張金中;王利娜
• 申請（專利權(quán)）人: 鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括支撐件，所述支撐件用于支撐基板的邊緣，所述支撐件上設(shè)有滑動件和定位件，所述滑動件與所述支撐件沿豎直方向滑動連接，所述定位件用于對所述滑動件進(jìn)行定位，以使所述滑動件的頂端高于所述支撐件的支撐面，當(dāng)所述滑動件向下擠壓所述定位件時，所述定位件可允許所述滑動件向下滑動，隨著所述滑動件的向下滑動，所述滑動件的頂端可低于或平齊于所述支撐件的支撐面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定位件為彈簧，所述彈簧一端與所述滑動件連接，另一端與所述支撐件連接，當(dāng)所述彈簧呈原長狀態(tài)時，所述彈簧可對所述滑動件進(jìn)行定位，當(dāng)所述滑動件向下擠壓所述彈簧時，所述彈簧可發(fā)生彈性形變，以允許所述滑動件向下滑動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐面上開設(shè)有安裝槽，所述彈簧沿豎直方向設(shè)于所述安裝槽內(nèi)，所述彈簧的底端與所述安裝槽連接，頂端與所述滑動件連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述滑動件包括豎直板和水平板，所述豎直板位于所述支撐面上的支撐位置和所述水平板之間，所述水平板與所述豎直板的頂端連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈簧的頂端與所述水平板的下表面連接，所述支撐面上對應(yīng)所述豎直板的位置開設(shè)有避讓槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述水平板與所述豎直板的頂端通過斜板連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐面上對應(yīng)所述豎直板的位置設(shè)有凹陷部。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述彈簧為方形螺旋彈簧。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐件和所述滑動件均由ESD PEEK材料制作。

10.一種蒸鍍設(shè)備，包括蒸鍍腔室，其特征在于，所述蒸鍍腔室內(nèi)設(shè)有多個權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，多個所述基板支撐機(jī)構(gòu)用于支撐所述基板的一周。