[發(fā)明專利]真空閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810089403.6
• 申請(qǐng)日: 2018-01-30
• 公開（公告）號(hào): CN108488415B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬丁·內(nèi)策爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: VAT控股公司
• 主分類號(hào): F16K3/18
• 分類號(hào): F16K3/18;F16K3/316;F16K3/314;F16K3/30;F16K51/02
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11363
• 代理人: 李少丹;許偉群

本發(fā)明涉及一種真空閥，包括閥殼體(1)，該閥殼體在內(nèi)部具有真空區(qū)域(4)；設(shè)置在閥殼體(1)的真空區(qū)域(4)中的關(guān)閉單元(5)，至少一個(gè)閥開口(2、3)在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)下可由所述關(guān)閉單元關(guān)閉；縱向驅(qū)動(dòng)裝置(11)，由該縱向驅(qū)動(dòng)裝置可使得關(guān)閉單元(5)在縱向(10)上移位，以便使得關(guān)閉單元(5)在釋放閥開口(2、3)的位置與遮擋閥開口(2、3)的位置之間移位；縱向引導(dǎo)裝置(19)，用來平行于縱向(10)可移動(dòng)地引導(dǎo)關(guān)閉單元(5)，其具有平行于縱向(10)延伸的導(dǎo)桿(20)和至少一個(gè)導(dǎo)向件(21)。導(dǎo)向件(21)的至少一個(gè)支撐元件(36)設(shè)置在相對(duì)于閥殼體(1)的真空區(qū)域(4)密封的區(qū)域中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空閥，其包括：閥殼體，該閥殼體在內(nèi)部具有真空區(qū)域；設(shè)置在閥殼體的真空區(qū)域中的關(guān)閉單元，至少一個(gè)閥開口在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)下可由所述關(guān)閉單元關(guān)閉；縱向驅(qū)動(dòng)裝置，由該縱向驅(qū)動(dòng)裝置可使得關(guān)閉單元在縱向上移位，以便使得關(guān)閉單元在釋放閥開口的位置與遮擋閥開口的位置之間移位；縱向引導(dǎo)裝置，用來平行于縱向可移動(dòng)地引導(dǎo)關(guān)閉單元，所述縱向引導(dǎo)裝置具有平行于縱向延伸的導(dǎo)桿和至少一個(gè)導(dǎo)向件，其中，導(dǎo)桿安置在閥殼體上，并且關(guān)閉單元安置于其上的該導(dǎo)向件平行于縱向可移動(dòng)地被導(dǎo)桿引導(dǎo)，或者所述至少一個(gè)導(dǎo)向件安置在閥殼體上，并且關(guān)閉單元安置于其上的導(dǎo)桿平行于縱向可移動(dòng)地被至少一個(gè)導(dǎo)向件引導(dǎo)，以及其中至少一個(gè)導(dǎo)向件具有至少一個(gè)支撐元件，用來平行于縱向可移動(dòng)地相對(duì)于導(dǎo)桿支撐導(dǎo)向件、或者用來平行于縱向可移動(dòng)地相對(duì)于導(dǎo)向件支撐導(dǎo)桿。

背景技術(shù)

由US 9,086,173B2已知一種真空閥，其關(guān)閉單元具有第一和第二閥板，這些閥板在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)下將閥殼體的對(duì)置的第一和第二閥開口封閉。這些閥板被關(guān)閉單元的支承單元支撐。該支承單元安置在閥桿上，該閥桿從閥殼體的真空區(qū)域伸出。在真空閥的打開狀態(tài)下，閥開口被釋放。為了關(guān)閉真空閥，支承單元被設(shè)置在真空區(qū)域之外的縱向驅(qū)動(dòng)裝置通過閥桿的軸向移動(dòng)而移動(dòng)至閥開口之前，其中，閥板仍然提升離開閥座。支承單元在此借助縱向引導(dǎo)裝置相對(duì)于閥殼體在相對(duì)的側(cè)面、平行于縱向可移動(dòng)地被引導(dǎo)。關(guān)閉單元具有橫向驅(qū)動(dòng)部件，借助于這些橫向驅(qū)動(dòng)部件因而將閥板頂壓到閥座上。

代替橫向驅(qū)動(dòng)部件，也可以有擴(kuò)張部件比如楔形部件、滾輪等，以便把兩個(gè)閥板頂壓到閥座上。當(dāng)支承單元在真空閥關(guān)閉情況下到達(dá)終端止擋之后，就會(huì)由縱向驅(qū)動(dòng)裝置引起這種情況。這種關(guān)閉機(jī)制在現(xiàn)有技術(shù)中已知有各種不同的設(shè)計(jì)。

這種真空閥特別是在真空設(shè)備中用于執(zhí)行真空過程，特別是在半導(dǎo)體技術(shù)中或涂層技術(shù)中例如用于制造顯示屏。要加工的襯底在此穿過這種真空閥，以便使得襯底從一個(gè)真空腔轉(zhuǎn)移到相鄰的真空腔。對(duì)于較大的板形襯底，閥開口構(gòu)造成縫隙狀，也就是說，具有比寬度明顯大的長(zhǎng)度。隨著要加工的襯底的尺寸變大，在水平方向上輸送襯底由于彎折危險(xiǎn)而日益困難或者無法再實(shí)現(xiàn)。因此已知豎直地(直立地或懸垂地)輸送或者近乎豎直地輸送這種襯底。縫隙狀的閥開口為此豎直地定向，或者近乎豎直地定向。關(guān)閉單元與此對(duì)應(yīng)地定向。

這種真空閥例如由AT 14814 U已知。為了能以簡(jiǎn)單的方式對(duì)閥進(jìn)行維護(hù)，在該文獻(xiàn)中記載到，關(guān)閉單元具有至少一個(gè)軌道，借助該軌道可以將關(guān)閉單元懸掛在軌道上地或者豎立在軌道上地從閥殼體中拉出到維護(hù)位置。為此，要么在把閥殼體的殼體部分取下之后安裝附加的軌道，沿著這些軌道可以使得關(guān)閉單元從閥殼體中移出，要么為了使得關(guān)閉單元相當(dāng)于閥殼體縱向地引導(dǎo)而存在有可伸縮的軌道，借助于這些軌道可以把關(guān)閉單元從閥殼體中拉出。

由JP-3241456 B2已知一種類似的真空閥。

由US 6,899,316 B2已知一種真空閥，其中，關(guān)閉單元只有一個(gè)閥板，以便在真空閥的關(guān)閉狀態(tài)下將閥殼體的閥開口封閉。類似于由US 9,086,173 B2已知的閥，存在有設(shè)置在真空區(qū)域外部的縱向驅(qū)動(dòng)裝置和設(shè)置在關(guān)閉單元上的橫向驅(qū)動(dòng)部件。關(guān)閉單元相對(duì)于閥殼體在相對(duì)側(cè)沿著縱向可移動(dòng)地引導(dǎo)。

閥殼體的閥開口的關(guān)閉也可以只通過關(guān)閉件的直線移動(dòng)來進(jìn)行，特別是借助于三維的密封面進(jìn)行，其例如由DE 37 17 724 A1或US 4,921,213 A已知。