[發明專利]真空閥

有效

• 申請號: 201810089403.6
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN108488415B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 馬丁·內策爾
• 申請（專利權）人: VAT控股公司
• 主分類號: F16K3/18
• 分類號: F16K3/18;F16K3/316;F16K3/314;F16K3/30;F16K51/02
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理有限公司 11363
• 代理人: 李少丹;許偉群

1.一種真空閥，包括：

閥殼體(1)，該閥殼體在內部具有真空區域(4)；

設置在該閥殼體(1)的該真空區域(4)中的關閉單元(5)，至少一個閥開口(2、3)在真空閥的關閉狀態下能夠由所述關閉單元關閉；

縱向驅動裝置(11)，由該縱向驅動裝置能夠使得關閉單元(5)在縱向(10)上移位，以便使得關閉單元(5)在釋放閥開口(2、3)的位置與遮擋閥開口(2、3)的位置之間移位；

縱向引導裝置(19)，用來平行于縱向(10)可移動地引導關閉單元(5)，其具有平行于縱向(10)延伸的導桿(20)和至少一個導向件(21)，

其中，所述導桿(20)安置在閥殼體(1)上，以及所述關閉單元(5)安置于其上的、設置在閥殼體(1)內部的所述至少一個導向件(21)平行于縱向(10)可移動地被導桿(20)引導；其中所述導桿(20)穿過貫穿開口，所述貫穿開口穿過所述至少一個導向件(21)，

其中，所述至少一個導向件(21)具有至少一個支撐元件(36)，用來平行于縱向(10)可移動地相對于導桿(20)來支撐導向件(21)，

其特征在于，所述至少一個支撐元件(36)設置在相對于閥殼體(1)的真空區域(4)密封的區域中,

所述至少一個導向件(21)與至少一個隔膜波紋管(22、23)連接，該隔膜波紋管延續了所述密封的區域，并且所述導桿(20)延伸穿過該隔膜波紋管，以及

所述導桿(20)在閥殼體(1)的第一壁(34)與閥殼體(1)的相對的第二壁(43)之間延伸，其中該第一壁可從閥殼體(1)的基體取下，其中，所述導桿(20)在第二壁(43)的區域中通過插塞連接與閥殼體(1)連接，其中，在把第一壁(34)從閥殼體(1)的基體取下時，導桿(20)保持與第一壁(34)連接，而插塞連接松開。

2.如權利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述關閉單元(5)懸掛地保持在所述縱向引導裝置(19)上。

3.如權利要求1所述的真空閥，其特征在于，所述導桿(20)具有圓形的橫截面。

4.如權利要求1所述的真空閥，其特征在于，與導向件(21)連接的第一和第二隔膜波紋管(22、23)設置在所述至少一個導向件(21)的相對側上，所述第一和第二隔膜波紋管使得所述至少一個支撐元件(36)設置于其中的、該密封的區域延續，并且所述導桿(20)延伸穿過所述第一和第二隔膜波紋管。

5.如權利要求1所述的真空閥，其特征在于，成型的支承板被固定在所述第一壁(34)上，所述導桿(20)支撐在與第一壁(34)分開的端部區域中。

6.如權利要求1至5中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述縱向(10)處于水平，或者相對于水平線具有小于30°的角度。

7.如權利要求1至5中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述至少一個支撐元件(36)設置于其內的、該密封的區域與大氣連通或者被泵吸。

8.如權利要求1至5中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述關閉單元(5)安置在平行于縱向(10)取向的閥桿(9)上。

9.如權利要求1至5中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述關閉單元(5)具有第一和第二閥板(6、7)，借助于所述第一和第二閥板能夠在真空閥的關閉狀態下使得相對的第一和第二閥開口(2、3)封閉。

10.如權利要求1至5中任一項所述的真空閥，其特征在于，所述至少一個閥開口(2、3)具有垂直于其軸線(13、14)且垂直于縱向(10)測得的長度(l)，該長度的大小為其平行于縱向(10)測得的寬度(b)的四倍以上。