[發明專利]被加工物的檢査方法、被加工物的檢査裝置和加工裝置

在審

• 申請號: 201810088187.3
• 申請日: 2018-01-30
• 公開（公告）號: CN108500842A
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 高橋邦充;北野元己;前島信
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B49/12
• 分類號: B24B49/12;B24B37/005;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

1.一種被加工物的檢査方法，其特征在于，其具備下述步驟：

加工步驟，利用磨削磨具或研磨墊對被加工物進行加工；

投影步驟，將來自光源的光照射到該被加工物的被加工面，使由該被加工面反射的該光到達屏幕，從而將反映了在該加工步驟中形成在被加工面上的凹凸的狀態的投影像映在該屏幕上；

拍攝步驟，對該屏幕的該投影像進行拍攝而形成拍攝圖像；以及

判定步驟，基于該拍攝圖像掌握該被加工物的該凹凸的狀態，對被加工物的好壞進行判定。

2.一種被加工物的檢査方法，其特征在于，其具備下述步驟：

加工步驟，利用磨削磨具或研磨墊對被加工物進行加工；

拍攝步驟，將來自光源的光照射到該被加工物的被加工面，對由該被加工面反射的該光進行拍攝，從而形成拍攝圖像，該拍攝圖像映照出反映了在該加工步驟中形成在被加工面上的凹凸的狀態的影像；以及

判定步驟，基于該拍攝圖像掌握該被加工物的該凹凸的狀態，對被加工物的好壞進行判定。

3.如權利要求1或2所述的被加工物的檢査方法，其特征在于，

在該拍攝圖像中映照出包含該被加工面的中心的該被加工面的中央區域，

在該拍攝圖像中未映照出圍繞該中央區域的該被加工面的外周區域。

4.一種被加工物的檢査裝置，其特征在于，其具備：

保持工作臺，其在將利用磨削磨具或研磨墊進行了加工的被加工物的被加工面露出的狀態下對該被加工物進行保持；

光源，其對該保持工作臺所保持的該被加工物的被加工面照射光；

屏幕，其被照射由該被加工面反射的該光，從而映出反映了由于該加工而形成在該被加工物的該被加工面上的凹凸的狀態的投影像；以及

拍攝單元，其對映在該屏幕上的投影像進行拍攝而形成拍攝圖像。

5.一種被加工物的檢査裝置，其特征在于，其具備：

保持工作臺，其在將利用磨削磨具或研磨墊進行了加工的被加工物的被加工面露出的狀態下對該被加工物進行保持；

光源，其對該保持工作臺所保持的該被加工物的被加工面照射光；以及

拍攝單元，其對由該被加工面反射的該光進行檢測而形成拍攝圖像。

6.如權利要求4或5所述的被加工物的檢査裝置，其特征在于，其進一步具備判定單元，該判定單元基于該拍攝圖像掌握該被加工物的該凹凸的狀態，對被加工物的好壞進行判定。

7.如權利要求6所述的被加工物的檢査裝置，其特征在于，在該判定單元檢測出在包含該被加工面的中心的該被加工面的中央區域和圍繞該中央區域的該被加工面的外周區域連續的該凹凸的情況下，將該被加工物判定為不合格。

8.如權利要求4～6中任一項所述的被加工物的檢査裝置，其特征在于，

在該拍攝圖像中映照出包含該被加工面的中心的該被加工面的中央區域，

在該拍攝圖像中未映照出圍繞該中央區域的該被加工面的外周區域。

9.一種加工裝置，其特征在于，

其具備：

卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；

加工單元，其利用該磨削磨具或該研磨墊對該卡盤工作臺所保持的該被加工物進行加工；

清洗單元，其對加工后的該被加工物的被加工面進行清洗；以及

檢査單元，其對在清洗后的該被加工物的該被加工面上所形成的加工痕的凹凸的狀態進行檢査，

該檢査單元為權利要求4～8中任一項所述的被加工物的檢査裝置。