[發(fā)明專(zhuān)利]加熱裝置和基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810087138.8
• 申請(qǐng)日: 2018-01-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108376658B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 重富賢一;七種剛;福留生將
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種加熱裝置，將基板載置于載置臺(tái)來(lái)進(jìn)行加熱，所述加熱裝置的特征在于，具備：

多個(gè)加熱器，其被設(shè)置于所述載置臺(tái)，所述多個(gè)加熱器的發(fā)熱量被彼此獨(dú)立地控制；

溫度檢測(cè)部，其檢測(cè)由各加熱器加熱的被加熱區(qū)域的溫度；以及

溫度控制部，按各加熱器設(shè)置所述溫度控制部，

其中，所述溫度控制部具備：

調(diào)節(jié)部，其運(yùn)算設(shè)定溫度與所述溫度檢測(cè)部的檢測(cè)溫度之間的偏差，并輸出對(duì)加熱器的供給電力的控制信號(hào)；

加法部，其將作為工藝溫度的目標(biāo)溫度與校正值相加來(lái)得到所述設(shè)定溫度；以及

校正值輸出部，其輸出所述校正值，

其中，所述校正值輸出部構(gòu)成為，輸出規(guī)定了各經(jīng)過(guò)時(shí)間的校正值的時(shí)間序列數(shù)據(jù)，使得在基板的溫度推移曲線(xiàn)中的在向基板的工藝溫度升溫的中途的預(yù)先決定的基準(zhǔn)時(shí)間點(diǎn)處的溫度變?yōu)榛鶞?zhǔn)溫度，其中，所述基板的溫度推移曲線(xiàn)是表示在加熱器的發(fā)熱量穩(wěn)定的狀態(tài)下將基板載置于載置臺(tái)后所述經(jīng)過(guò)時(shí)間與溫度之間的關(guān)系的曲線(xiàn)，

當(dāng)將所述目標(biāo)溫度設(shè)為T(mén)1、將緊挨著將基板載置于載置臺(tái)之前的溫度設(shè)為T(mén)2時(shí)，所述基準(zhǔn)溫度是從{T2+(T1-T2)×0.6}～{T2+(T1-T2)×0.99}的范圍選擇出的溫度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，

所述被加熱區(qū)域的累積熱量相對(duì)于基準(zhǔn)累積熱量收斂在±0.5％以?xún)?nèi)。

3.一種加熱裝置，將基板載置于載置臺(tái)來(lái)進(jìn)行加熱，所述加熱裝置的特征在于，具備：

多個(gè)加熱器，其被設(shè)置于所述載置臺(tái)，所述多個(gè)加熱器的發(fā)熱量被彼此獨(dú)立地控制；

溫度檢測(cè)部，其檢測(cè)由各加熱器加熱的被加熱區(qū)域的溫度；以及

溫度控制部，按各加熱器設(shè)置所述溫度控制部，

其中，所述溫度控制部具備：

調(diào)節(jié)部，其運(yùn)算設(shè)定溫度與所述溫度檢測(cè)部的檢測(cè)溫度之間的偏差，并輸出對(duì)加熱器的供給電力的控制信號(hào)；

加法部，其將作為工藝溫度的目標(biāo)溫度與校正值相加來(lái)得到所述設(shè)定溫度；以及

校正值輸出部，其輸出所述校正值，

其中，所述校正值輸出部構(gòu)成為，輸出規(guī)定了各經(jīng)過(guò)時(shí)間的校正值的時(shí)間序列數(shù)據(jù)，使得在基板的溫度推移曲線(xiàn)中的在向基板的工藝溫度升溫的中途的預(yù)先決定的基準(zhǔn)時(shí)間點(diǎn)處的溫度變?yōu)榛鶞?zhǔn)溫度，其中，所述基板的溫度推移曲線(xiàn)是表示在加熱器的發(fā)熱量穩(wěn)定的狀態(tài)下將基板載置于載置臺(tái)后所述經(jīng)過(guò)時(shí)間與溫度之間的關(guān)系的曲線(xiàn)，

其中，所述加熱裝置具備存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部針對(duì)基板的與所述多個(gè)加熱器中的各加熱器對(duì)應(yīng)的被加熱區(qū)域，按將從預(yù)先決定的第一時(shí)間點(diǎn)至第二時(shí)間點(diǎn)為止的期間分割為多個(gè)而得到的多個(gè)時(shí)間區(qū)間中的每個(gè)時(shí)間區(qū)間來(lái)存儲(chǔ)偏移值，

所述加法部構(gòu)成為，將所述目標(biāo)溫度、校正值以及所述偏移值相加，

其中，所述第一時(shí)間點(diǎn)是在加熱器的發(fā)熱量穩(wěn)定的狀態(tài)下將基板載置于載置臺(tái)之后的基板的溫度推移曲線(xiàn)中的在向基板的工藝溫度升溫的中途的時(shí)間點(diǎn)，所述第二時(shí)間點(diǎn)是所述溫度推移曲線(xiàn)中的基板達(dá)到處理溫度之后的時(shí)間點(diǎn)，

所述偏移值被設(shè)定為，針對(duì)基板的與多個(gè)加熱器中的各加熱器對(duì)應(yīng)的被加熱區(qū)域，使從所述第一時(shí)間點(diǎn)至第二時(shí)間點(diǎn)為止的期間內(nèi)的累積熱量在被加熱區(qū)域之間成為一致。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱裝置，其特征在于，

所述被加熱區(qū)域的累積熱量相對(duì)于基準(zhǔn)累積熱量收斂在±0.5％以?xún)?nèi)。

5.一種基板處理裝置，具備一個(gè)或多個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的將各個(gè)基板載置于載置臺(tái)來(lái)進(jìn)行加熱的加熱裝置。