[發明專利]對準器結構及對準方法

有效

• 申請號: 201810085860.8
• 申請日: 2015-02-27
• 公開（公告）號: CN108130521B
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 曹生賢
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C16/04
• 分類號: C23C16/04;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/44;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 錢慰民

本發明的目的在于提供一種對準器結構，以相對較大的移動尺度結束基板(S)及掩模(M)間的第1次相對移動后，以相對較小的移動尺度執行基板(S)及掩模(M)間的第2次相對移動，從而能夠實現迅速而精密的基板及掩模的對齊。本發明的對準器結構作為在基板(S)表面執行薄膜沉積工序之前對準掩模(M)及基板(S)的對準器結構，包括：第1次對準部(100)，其借助于基板(S)及掩模(M)的第1相對移動，依次地第1次對準基板(S)及掩模(M)；第2次對準部(200)，其在借助于所述第1次對準部(100)的第1次對準后，借助于基板(S)及掩模(M)的第2相對移動，依次地第2次對準基板(S)及掩模(M)；所述第2相對移動的移動尺度小于所述第1相對移動的移動尺度，從而以相對較大的移動尺度結束基板(S)及掩模(M)間的第1次相對移動后，以相對較小的移動尺度執行基板(S)及掩模(M)間的第1次相對移動，從而能夠實現迅速而精密的基板及掩模的對齊。

技術領域

本發明涉及基板處理裝置，更詳細而言，涉及一種為了在基板上執行沉積工序而對準基板及掩模的對準器結構及對準方法。

背景技術

隨著IT技術的飛躍性發展與智能手機等顯示裝置市場的成長，平板顯示裝置(FlatPanel Display)倍受矚目。作為這種平板顯示裝置，有液晶顯示裝置(LiquidCrystal Display)、等離子體顯示裝置(Plasma Display Panel)、有機發光顯示裝置(Organic Light Emitting Diodes)等。

其中，有機發光顯示裝置具有快速的響應速度、比原有液晶顯示裝置更低的耗電、輕量性、因不需要另外的背光(backlight)裝置而能夠制造成超薄型、高亮度等非常好的優點，因而作為下一代顯示元件而倍受矚目。

這種有機發光顯示裝置利用了在基板上依次形成陽極、有機膜、陰極并在陽極與陰極之間施加電壓而自行發光的原理。

有機發光顯示裝置雖然未圖示，但在基板上依次形成有陽極(anode)、空穴注入層(hole injection layer)、空穴傳輸層(hole transfer layer)、發光層(emittinglayer)、電子傳輸層(electrontransfer layer)、電子注入層(electron injectionlayer)、陰極(cathode)。其中，陽極使用表面電阻小、光線透過性好的ITO(Indium TinOxide，銦錫氧化物)。

而且，有機膜對空氣中的水分和氧氣非常脆弱，因而為了使元件的壽命(lifetime)增加，在最上部形成有封閉了有機膜等的封裝膜。

另一方面，為了有機發光顯示裝置的制造，陽極、陰極、有機膜、封裝膜等一般通過真空沉積法形成。

其中，所謂真空沉積法，是指在真空腔中設置使沉積物質加熱而蒸發的源物質，把從源物質蒸發的沉積物質沉積于基板表面的方法。

而且，在制造有機發光顯示裝置方面，如圖1所示，具有既定圖案的陽極、陰極、有機膜等是使掩模(M)結合于基板(S)而形成。在圖1中，F是指使借助于磁力等而對準的掩模(M)及基板(S)貼緊的支撐構件。

此時，如圖2所示，為了使得與預先設計的圖案一致，需要對齊基板(S)及掩模(M)，為此，在利用攝像頭進行識別的同時，借助于移動手段而使掩模(M)移動，使得在基板(S)及掩模(M)上分別形成的標記(m1,m2)相互一致后，利用支撐構件(F)，使掩模(M)貼緊基板(S)。

作為以往的對準器結構，有韓國注冊專利第10-0627679號。

可是，隨著顯示裝置的分辨率不斷提高，圖案也細微化，為了細微化圖案的形成，需要基板(S)及掩模(M)的更精密對齊。

而且，基板(S)及掩模(M)的精密對齊必須體現基板(S)或掩模(M)的細微移動方可。