[發明專利]磁控濺射設備及其遮擋板組件

有效

• 申請號: 201810084682.7
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN108277465B
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 毛瑞鋒;金相起;程貫杰;李陽陽;宋朱曉;楊磊;王宜申;候建新;李智
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54;G08B21/00
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 闞梓瑄;王衛忠

1.一種遮擋板組件，包括相互搭接的第一遮擋板和第二遮擋板，其特征在于，所述第一遮擋板和所述第二遮擋板設置為弧形結構，所述第一遮擋板的圓心與所述第二遮擋板的圓心分別設置于所述遮擋板組件的兩側；

所述遮擋板組件還包括滾珠組件，所述滾珠組件設置于所述第一遮擋板和所述第二遮擋板的搭接位置，所述滾珠組件設置于所述第一遮擋板和所述第二遮擋板兩者中的一者上，所述滾珠組件的滾珠朝向所述第一遮擋板和所述第二遮擋板兩者中的另一者的搭接面。

2.如權利要求1所述的遮擋板組件，其特征在于，所述第一遮擋板具有第一弧度，所述第一弧度為0.7π-0.9π，所述第一遮擋板的弧長為0.3-0.5m，以及/或者所述第二遮擋板具有第二弧度，所述第二弧度為0.7π-0.9π，所述第二遮擋板的弧長為0.3-0.5m。

3.如權利要求1所述的遮擋板組件，其特征在于，所述滾珠組件還包括固定件以及用于連接所述滾珠和所述固定件的連接件，所述固定件具有通孔，所述連接件設置于所述通孔內，所述滾珠可轉動地設置于所述通孔的一端，所述固定件固定設置于所述第一遮擋板或者所述第二遮擋板預設的凹槽內，所述滾珠的滾珠面突出于所在遮擋板的搭接面。

4.如權利要求1所述的遮擋板組件，其特征在于，所述搭接面設置于所述第一遮擋板或者所述第二遮擋板的內側面的端部，所述搭接面與外側面之間的距離尺寸小于內側面到外側面之間的距離尺寸。

5.一種磁控濺射設備，所述磁控濺射設備包括成模基板、靶材結構以及設置于所述成模基板和所述靶材結構之間的遮擋板組件，其特征在于，所述遮擋板組件為根據權利要求1至4中任一項所述的遮擋板組件，所述遮擋板組件形成閉環結構。

6.如權利要求5所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述磁控濺射設備還包括報警裝置，所述報警裝置設置于所述第一遮擋板或者所述第二遮擋板的外側，所述報警裝置設置為與搭接面相對，以在所述報警裝置相鄰的遮擋板變形的情況下，所述報警裝置發出警報。

7.如權利要求6所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述報警裝置包括電源和分別與所述電源相連的第一電路和第二電路，所述第一電路上設置有第一電阻和報警器，所述第二電路設置有第二電阻，所述第二電阻選擇性接通所述第二電路，所述報警裝置相鄰的遮擋板變形的情況下，所述第二電路導通，所述報警裝置發出警報。

8.如權利要求7所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述報警器包括電流監測件和顯示器件，所述第二電路導通，所述電流監測件的電流發生變化，并通過所述顯示器件顯示。

9.如權利要求7所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述報警器包括電流監測件和發聲裝置，所述第二電路導通，所述電流監測件的電流發生變化，所述發聲裝置發出警報。