[發明專利]磁控濺射設備及其遮擋板組件

有效

• 申請號: 201810084682.7
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN108277465B
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 毛瑞鋒;金相起;程貫杰;李陽陽;宋朱曉;楊磊;王宜申;候建新;李智
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54;G08B21/00
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 闞梓瑄;王衛忠

本發明公開一種磁控濺射設備及其遮擋板組件，其中遮擋板組件包括相互搭接的第一遮擋板和第二遮擋板，第一遮擋板和第二遮擋板設置為弧形結構，第一遮擋板的圓心與第二遮擋板的圓心分別設置于遮擋板組件的兩側。由于第一遮擋板和第二遮擋板預先設置為弧形結構，有利于遮擋板自身內力的釋放，從而可以降低遮擋板變形的風險。

技術領域

本發明涉及磁控濺射設備。尤其與遮擋板組件有關。

背景技術

薄膜晶體管行業中磁控濺射設備中的裝載托盤通常承載基板在高溫高真空腔體內鍍膜。為防止等離子體污染腔體，通常需要使用遮擋板對等離子體進行隔離。

遮擋板一般是鋁合金材質，在高溫的腔體內使用時經常出現變形現象，變形后的遮擋板容易在交疊的位置摩擦產生顆粒，摩擦產生的顆粒通常會在腔體內不斷聚集，而后在放電過程中會射到基板上，造成產品端由于短路或者斷路而造成的產品不良高發，從而降低產品良率。并且，變形后的遮擋板應力聚集在螺絲固定的位置，使得拆除極其費力，影響作業效率。特別的，在薄膜晶體管中柵極和源漏極一般采用金屬鉬或者鉬合金，在使用過程中，鉬或者鉬合金將沉積在腔體內的遮擋板上，導致遮擋板應力增大，使用過程中經常出現變形的情況，這種變形的情況出現后一般會維修或者嚴重的直接報廢，造成了極大損失。

另外，當遮擋板發生變形時，設備不能提示報警，無法獲知腔體內的摩擦和顆粒情況。

因此，如何提供一種遮擋板，以防止自身變形，是本領域技術人員亟需解決的技術問題。

發明內容

本發明的一個主要目的在于克服上述變形缺陷，提供一種遮擋板組件。

為實現上述發明目的，本發明采用如下技術方案：

根據本發明的一個方面，提供了一種遮擋板組件，包括相互搭接的第一遮擋板和第二遮擋板，所述第一遮擋板和所述第二遮擋板設置為弧形結構，所述第一遮擋板的圓心與所述第二遮擋板的圓心分別設置于所述遮擋板組件的兩側。

根據本發明的一實施方式，其中所述第一遮擋板具有第一弧度，所述第一弧度為0.7π-0.9π，所述第一遮擋板的弧長為0.3-0.5m，以及/或者所述第二遮擋板具有第二弧度，所述第二弧度為0.7π-0.9π，所述第二遮擋板的弧長為0.3-0.5m。

根據本發明的一實施方式，其中所述遮擋板組件還包括滾珠組件，所述滾珠組件設置于所述第一遮擋板和所述第二遮擋板的搭接位置，所述滾珠組件設置于所述第一遮擋板和所述第二遮擋板兩者中的一者上，所述滾珠組件的滾珠朝向所述第一遮擋板和所述第二遮擋板兩者中的另一者的搭接面。

根據本發明的一實施方式，其中所述滾珠組件還包括固定件以及用于連接所述滾珠和所述固定件的連接件，所述固定件具有通孔，所述連接件設置于所述通孔內，所述滾珠可轉動地設置于所述通孔的一端，所述固定件固定設置于所述第一遮擋板或者所述第二遮擋板預設的凹槽內，所述滾珠的滾珠面突出于所在遮擋板的搭接面。

根據本發明的一實施方式，其中所述搭接面設置于所述第一遮擋板或者所述第二遮擋板的內側面的端部，所述搭接面與外側面之間的距離尺寸小于內側面到外側面之間的距離尺寸。

根據本發明的另一方面，提供一種磁控濺射設備，所述磁控濺射設備包括成?；濉胁慕Y構以及設置于所述成?；搴退霭胁慕Y構之間的遮擋板組件，所述遮擋板組件為本發明提供的遮擋板組件，所述遮擋板組件形成閉環結構。

根據本發明的一實施方式，其中所述磁控濺射設備還包括報警裝置，所述報警裝置設置于所述第一遮擋板或者所述第二遮擋板的外側，所述報警裝置設置為與搭接面相對，以在所述報警裝置相鄰的遮擋板變形的情況下，所述報警裝置發出警報。