[發明專利]一種可吸入顆粒物粒徑分級裝置在審
| 申請號： | 201810084549.1 | 申請日： | 2018-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN108279192A | 公開（公告）日： | 2018-07-13 |
| 發明（設計）人： | 朱小鋒;孫建海;張艷妮;劉錦華;寧占武 | 申請（專利權）人： | 北京市勞動保護科學研究所;中國科學院電子學研究所 |
| 主分類號： | G01N15/02 | 分類號： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩;吳歡燕 |
| 地址： | 100054 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 可吸入顆粒物 粒徑分級裝置 顆粒物 通道槽 微流控 岔口 硅板 粒徑 電路板 分級分離 分離效率 粉塵檢測 密封設置 批量化 體積小 蓋板 分級 三通 芯片 生產 | ||
1.一種可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，包括依次密封設置的蓋板(1)、硅板(2)和電路板(3)，所述硅板(2)上開設多條用以顆粒物通過的通道槽，相鄰的所述通道槽相連通以形成三通的分離岔口，所述分離岔口用以對不同粒徑的顆粒物進行分離。
2.根據權利要求1所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述通道槽包括第一通道槽(21)、第二通道槽(22)和第三通道槽(23)，所述第二通道槽(22)的一端與所述第一通道槽(21)的中部相連通以形成一級分離岔口(24)，所述第三通道槽(23)的一端與所述第二通道槽(22)的中部相連通以形成二級分離岔口(25)。
3.根據權利要求2所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述一級分離岔口(24)處的所述第一通道槽(21)的通道尺寸大于所述第二通道槽(22)的通道尺寸；所述二級分離岔口(25)處的所述第二通道槽(22)的通道尺寸大于所述第三通道槽(23)的通道尺寸。
4.根據權利要求2所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述第一通道槽(21)的兩端對應設置有樣品入口(26)和第一樣品出口(27)，所述第二通道槽(22)遠離所述一級分離岔口(24)的一端設置有第二樣品出口(28)，所述第三通道槽(23)遠離所述二級分離岔口(25)的一端設置有第三樣品出口(29)。
5.根據權利要求2所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述第二通道槽(22)底部位于所述一級分離岔口(24)、二級分離岔口(25)之間的位置及所述第三通道槽(23)底部分別開設有通孔(5)。
6.根據權利要求2所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述蓋板(1)上遠離所述硅板(2)的一側設置有兩個微加熱器(4)，兩個所述微加熱器(4)的位置分別與所述一級分離岔口(24)、所述二級分離岔口(25)相對應。
7.根據權利要求1所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述蓋板(1)由透明材料制成。
8.根據權利要求5所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述電路板(3)靠近所述硅板(2)的一側設置有兩個微型薄膜體聲波諧振器(31)，所述微型薄膜體聲波諧振器(31)與所述通孔(5)之間卡合密封設置。
9.根據權利要求5所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述電路板(3)靠近所述硅板(2)的一側設置有兩個壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述通孔(5)之間卡合密封設置。
10.根據權利要求1至9中任一項所述的可吸入顆粒物粒徑分級裝置，其特征在于，所述通道槽由PDMS或不銹鋼材料制成。
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