[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體自動(dòng)裝片機(jī)構(gòu)及運(yùn)行方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810082942.7
• 申請(qǐng)日: 2018-01-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108305845B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石巍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇長(zhǎng)電科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京中濟(jì)緯天專(zhuān)利代理有限公司 11429
• 代理人: 趙海波

1.一種半導(dǎo)體自動(dòng)裝片機(jī)構(gòu)，其特征在于：它包括工作臺(tái)（1）、振動(dòng)盤(pán)（4）、導(dǎo)軌（5）、轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)（8），所述振動(dòng)盤(pán)（4）中投入散裝器件，振動(dòng)盤(pán)（4）啟動(dòng)，散裝器件通過(guò)振動(dòng)盤(pán)（4）末端連接的導(dǎo)軌（5）傳送至導(dǎo)軌出料工位（6）上，所述工作臺(tái)（1）上安裝有貼好藍(lán)膜的藍(lán)膜盤(pán)，藍(lán)膜盤(pán)通過(guò)XY軸驅(qū)動(dòng)器（2）推動(dòng)到工作臺(tái)（1）上的器件接收工位（3）上，所述轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)（8）設(shè)置于導(dǎo)軌出料工位（6）的上方，該轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)（8）頂部通過(guò)主軸電機(jī)（7）帶動(dòng)來(lái)運(yùn)作，轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)（8）底部設(shè)置有真空吸取頭（9）；

所述振動(dòng)盤(pán)（4）的上方設(shè)有視覺(jué)傳感器（10），視覺(jué)傳感器（10）的信號(hào)傳輸至伺服電機(jī)（11），伺服電機(jī)（11）帶動(dòng)凸輪傳動(dòng)箱（12）運(yùn)動(dòng)，凸輪傳動(dòng)箱（12）與導(dǎo)軌（5）連接；

所述導(dǎo)軌（5）是一個(gè)變軌導(dǎo)軌，它由導(dǎo)軌固定端（13）和導(dǎo)軌活動(dòng)端（14）組成，凸輪傳動(dòng)箱（12）與導(dǎo)軌活動(dòng)端（14）連接，通過(guò)伺服電機(jī)（11）可以帶動(dòng)導(dǎo)軌活動(dòng)端（14）靠近或者遠(yuǎn)離導(dǎo)軌固定端（13），從而對(duì)導(dǎo)軌（5）的寬度進(jìn)行調(diào)整。

2.一種半導(dǎo)體自動(dòng)裝片機(jī)構(gòu)的運(yùn)行方法，其特征在于所述方法包括如下步驟：

步驟一、將貼上藍(lán)膜的藍(lán)膜盤(pán)安裝在工作臺(tái)（1）上；

步驟二、XY軸驅(qū)動(dòng)器（2）推動(dòng)工作臺(tái)（1）上的藍(lán)膜盤(pán)至器件接收工位（3）；

步驟三、在供料振動(dòng)盤(pán)（4）中投入散裝器件；

步驟四、振動(dòng)盤(pán)（4）啟動(dòng)，散裝器件有序整齊通過(guò)導(dǎo)軌（5）傳送至導(dǎo)軌出料工位（6）；

所述導(dǎo)軌（5）的自動(dòng)變軌方式為：

伺服電機(jī)（11）帶動(dòng)凸輪傳動(dòng)箱（12），推動(dòng)導(dǎo)軌（5）復(fù)位，視覺(jué)傳感器（10）檢測(cè)振動(dòng)盤(pán)（4）中投料的散裝器件，得到散裝器件尺寸數(shù)據(jù)，伺服電機(jī)（11）動(dòng)作，驅(qū)動(dòng)凸輪傳動(dòng)箱（12）平移導(dǎo)軌活動(dòng)端（14），使得導(dǎo)軌固定端（13）和導(dǎo)軌活動(dòng)端（14）配合間隙能夠保障散裝器件可靠順暢地通過(guò)；

步驟五、主軸電機(jī)（7）啟動(dòng)，轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)（8）上的真空吸取頭（9）在導(dǎo)軌出料工位（6）下壓吸取散裝器件，同時(shí)轉(zhuǎn)盤(pán)機(jī)構(gòu)（8）旋轉(zhuǎn)步進(jìn)；

步驟六、真空吸取頭（9）轉(zhuǎn)至器件接收工位（3），下壓釋放真空，散裝器件被整齊排布在藍(lán)膜上；

步驟七、XY軸驅(qū)動(dòng)器（2）動(dòng)作，以使藍(lán)膜上的空白區(qū)間運(yùn)行至器件接收工位（3），準(zhǔn)備新一輪的循環(huán)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)連續(xù)生產(chǎn)。