[發明專利]一種硅片鼓泡清洗裝置

在審

• 申請號: 201810082611.3
• 申請日: 2018-01-29
• 公開（公告）號: CN108346600A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 甘大元;唐珊珊;劉坤;張鵬飛;張健
• 申請（專利權）人: 山東大海新能源發展有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205
• 代理人: 苗峻

本發明公開了一種硅片鼓泡清洗裝置，所屬硅片清洗裝置技術領域，提供一種高效的硅片鼓泡清洗裝置。清洗箱包括上清洗箱、下清洗箱兩部分，下清洗箱底部設置鼓泡裝置，箱壁上設置加熱裝置，上清洗箱的頂部設置蒸汽管路，蒸汽管路與冷凝器相連接，冷凝器底部設置回流管路，回流管路與上清洗箱連接；鼓泡裝置包括固定板、氣管、壓縮空氣泵，氣管呈S形排列在固定板上，氣管上均勻排列有氣孔，固定板連接在清洗箱底部，氣管的兩端均與壓縮空氣泵相連接，空氣壓縮泵設置在清洗箱的外部，下清洗箱的頂部設置硅片放置架，硅片放置架為扁平鏤空結構。其主要用途是對硅片進行清洗。

技術領域

本發明屬于硅片清洗裝置技術領域，特別涉及一種硅片鼓泡清洗裝置。

背景技術

近年來，太陽能光伏產業發展迅猛，因此對硅片使用尤其頻繁，但是在使用過程中要對生產的硅片進行清洗，若在燒結前發現質量問題，可以將硅片表面上的漿料清除后進行再次利用，以達到節約成本的目的，在硅基板太陽能電池生產過程中，需要使用硅片作為電池的基體材料，為了增加對太陽能光的吸收，需要對硅片表面進行絨面處理，即利用酸性液或堿性液對硅片表面進行腐蝕從而形成絨面。在絨面形成后，還需要對硅片表面進行清洗。

專利號為CN 204107915 U的硅片清洗裝置，包括清洗槽，清洗槽內側壁上設花籃放置臺，下部設帶有出氣孔向上的壓縮空氣盤管、且輸入端穿出側壁與壓縮空氣管路連通，清洗槽槽壁底部設酒精排液口和漿料排液口，酒精排液口在漿料排液口上面，壓縮空氣盤管處于花籃與酒精排液口之間，壓縮空氣盤管的輸入端、酒精排液口和漿料排液口上設有閥門。將裝有待清洗硅片的花籃放置在花籃放置臺上并浸泡在酒精中，壓縮空氣通過壓縮空氣盤管上的出氣孔產生鼓泡對硅片進行清洗，清洗完后漿料自然沉降，打開酒精排液口上閥門收集酒精，再打開漿料排液口上的閥門將漿料排出。上述專利具有結構簡單、操作方便、工作效率高的優點。但是在對清洗液酒精的回收利用往往過程繁雜，影響清洗效果；其壓縮空氣管路的鼓泡效率較低，需要進一步的提升。

發明內容

針對上述問題，本發明提出了一種硅片鼓泡清洗裝置，可以對硅片實現高效清洗。

本發明采用的技術方案是，一種硅片鼓泡清洗裝置，包括清洗箱、鼓泡裝置、加熱裝置、蒸汽管路、冷凝器、回流管路，所述清洗箱為圓柱狀，所述清洗箱包括上清洗箱、下清洗箱兩部分，所述上清洗箱、下清洗箱通過螺紋可進行彼此連接，所述下清洗箱底部設置有鼓泡裝置，所述下清洗箱箱壁上設置有加熱裝置，所述上清洗箱的頂部設置有蒸汽管路，所述蒸汽管路與所述的冷凝器相連接，所述冷凝器底部設置有回流管路，所述回流管路與所述的上清洗箱連接，所述上清洗箱頂部設置的蒸汽管路將加熱的清洗液蒸汽排入所述的冷凝器進行冷凝，將冷凝的清洗液由所述的回流管路重新流入所述的清洗箱；所述鼓泡裝置包括固定板、氣管、壓縮空氣泵，所述氣管呈S形排列在所述的固定板上，所述氣管上均勻排列有氣孔，所述固定板連接在所述清洗箱底部，所述氣管的兩端均與所述的壓縮空氣泵相連接，所述空氣壓縮泵設置在清洗箱的外部，所述空氣壓縮泵的入口接入所述下清洗箱內部，保證清洗箱為密閉空間，所述下清洗箱的頂部設置有硅片放置架，所述硅片放置架由不銹鋼材料制作而成，所述硅片放置架為扁平鏤空結構，所述下清洗箱中添加的清洗液的水位高于所述加熱裝置的設置高度，所述下清洗箱中添加的清洗液的水位高度與所述硅片放置架的高度相同或者略高于硅片放置架的設置高度，所述加熱裝置將所述的清洗液加熱，由所述的鼓泡裝置將壓縮空氣通過清洗液生成熱氣泡，對所述的硅片放置架上的硅片進行清洗。

優選地，所述的清洗液優選為酒精。

進一步的，所述清洗箱的底部設置有支架，所述支架底部設置有地腳固定架。

進一步的，所述下清洗箱內設置有溫度傳感器，所述溫度傳感器的數值顯示屏設置在所述清洗箱的外部，所述溫度傳感器可對清洗液的溫度進行檢測，并根據檢測結果對所述的加熱裝置進行控制。

進一步的，所述清洗箱底部設置的支架上安裝有操作面板，所述操作面板與所述的加熱裝置、空氣壓縮機相連接，可對所述加熱裝置、空氣壓縮機的工作狀態進行控制。