[發(fā)明專利]有機半導體器件的封裝方法

有效

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• 申請日: 2018-01-27
• 公開（公告）號: CN108336243B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設計）人: 蔡豐豪
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產(chǎn)權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本發(fā)明提供一種有機半導體器件的封裝方法，所述封裝方法包括步驟：提供一TFT基板；在TFT基板上制作形成間隔設置的兩個光阻塊；在TFT基板上制作形成有機半導體器件，有機半導體器件位于兩個光阻塊之間；在TFT基板、兩個光阻塊、有機半導體器件上制作形成封裝層；從封裝層的兩端分別進行切割，以將兩個光阻塊的一部分切除；將兩個光阻塊的剩下的部分及其上的封裝層去除。本發(fā)明提出的有機半導體器件的封裝方法，在TFT基板、兩個光阻塊、有機半導體器件上制作形成封裝層后直接從封裝層的頂部進行切割，以將兩個光阻塊的一部分切除；再將兩個光阻塊的剩下的部分及其上的封裝層去除，整個過程減少了mask的使用，從而降低了制作成本，提升了制作精度和質量。

技術領域

本發(fā)明涉及器件封裝技術領域，尤其涉及一種有機半導體器件的封裝方法。

背景技術

OLED即有機發(fā)光二極管(OrganicLight-EmittingDiode)，具備自發(fā)光、高亮度、寬視角、高對比度、可撓曲、低能耗等特性，因此受到廣泛的關注，并作為新一代的顯示方式，已開始逐漸取代傳統(tǒng)液晶顯示器，被廣泛應用在手機屏幕、電腦顯示器、全彩電視等。OLED顯示技術與傳統(tǒng)的液晶顯示技術不同，無需背光燈，采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基板，當有電流通過時，這些有機材料就會發(fā)光。但有機材料對水、氧的阻擋能力較弱。為了延長OLED的壽命，就需要對OLED的有機材料進行有效的封裝(TFE)。一般常用的OLED TFE工藝是通過mask在基底上交替制作多層有機、無機薄膜來實現(xiàn)，該方法需要使用大量的mask并需要定時對mask進行清洗，材料成本較高、保養(yǎng)較難、制作精度較低，一旦清洗不及時將會造成膜層質量問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供一種有機半導體器件的封裝方法，能夠減少mask的使用，降低成本，提升制作精度和質量。

本發(fā)明提出的具體技術方案為：提供一種有機半導體器件的封裝方法，所述封裝方法包括步驟：

提供一TFT基板；

在所述TFT基板上制作形成間隔設置的兩個光阻塊；

在所述TFT基板上制作形成有機半導體器件，所述有機半導體器件位于所述兩個光阻塊之間；

在所述TFT基板、兩個光阻塊、有機半導體器件上制作形成封裝層；

從所述封裝層的兩端分別進行切割，以將所述兩個光阻塊的一部分切除；

將所述兩個光阻塊的剩下的部分及其上的封裝層去除。

進一步地，在所述TFT基板、兩個光阻塊、有機半導體器件上制作形成封裝層具體包括：

在所述TFT基板、兩個光阻塊、有機半導體器件上交替沉積無機層和有機層；

在最后一層有機層上沉積無機層，以獲得所述封裝層。

進一步地，所述有機層在所述TFT基板上的投影位于所述兩個光阻塊之間。

進一步地，利用等離子體增強化學氣相沉積法、脈沖激光沉積法或濺射沉積法沉積無機層。

進一步地，所述無機層的材質為SiO_x或者SiN_x。

進一步地，利用噴墨印刷成型法、等離子體增強化學氣相沉積法或者夾縫式擠壓型涂布法沉積有機層。

進一步地，所述有機層的材質選自亞克力、環(huán)氧樹脂、硅膠中的一種。

進一步地，在所述TFT基板上制作形成間隔設置的兩個光阻塊具體包括：

在所述TFT基板上沉積一層光阻層，所述光阻層包括曝光部及位于所述曝光部兩側的非曝光部；

對所述光阻層進行曝光；