[發(fā)明專(zhuān)利]掩膜板及彩色濾光片的制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810079698.9
• 申請(qǐng)日: 2018-01-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108170000A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莫超德
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F1/76
• 分類(lèi)號(hào): G03F1/76;G03F7/20;G02F1/1335
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂;程曉

本發(fā)明提供一種掩膜板及彩色濾光片的制作方法。本發(fā)明的掩膜板用于制作彩色濾光片，具有圖案區(qū)域，所述圖案區(qū)域?yàn)榘胪腹鈪^(qū)域，且所述圖案區(qū)域的透光率由掩膜板的四周邊界處向中心處遞減，從而使通過(guò)掩膜板的照射能量由四周邊界處向中心處遞減，使用該掩膜板制作彩色濾光片，能夠有效改善現(xiàn)有技術(shù)中因掩膜板自重向下彎曲而造成其圖形拉伸不均一進(jìn)而導(dǎo)致彩色濾光片上圖形尺寸大小不均一的問(wèn)題，得到線寬均勻的圖案。本發(fā)明的彩色濾光片的制作方法采用上述的掩膜板，能夠得到線寬均勻的圖案，有效改善大尺寸顯示產(chǎn)品中彩色濾光片上圖形尺寸大小不均一的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種掩膜板及彩色濾光片的制作方法。

背景技術(shù)

薄膜晶體管液晶顯示裝置(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)具有機(jī)身薄、省電、無(wú)輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用。現(xiàn)有市場(chǎng)上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示裝置，其包括液晶顯示面板及背光模組(backlightmodule)。通常液晶顯示面板由彩膜(CF，Color Filter)基板、TFT陣列基板、夾于彩膜基板與TFT陣列基板之間的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封框膠(Sealant)組成；其成型工藝一般包括：前段陣列(Array)制程與CF制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT陣列基板與CF基板貼合)及后段模組組裝(Module)制程(驅(qū)動(dòng)IC與印刷電路板壓合)；其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的運(yùn)動(dòng)；前段CF制程主要是形成CF基板；中段Cell制程主要是在TFT基板與CF基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅(qū)動(dòng)IC壓合與印刷電路板的整合，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)液晶分子轉(zhuǎn)動(dòng)，顯示圖像。

CF基板是LCD用來(lái)實(shí)現(xiàn)彩色顯示的主要器件，其基本構(gòu)成通常包括：玻璃基板、黑色矩陣(Black Matrix，BM)、彩色色阻層等等。背光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)液晶分子的調(diào)制入射到CF基板，通過(guò)CF基板上彩色色阻層的紅色色阻、綠色色阻、以及藍(lán)色色阻的濾光作用，分別顯示紅，綠，藍(lán)三種光線，不同顏色的色阻分別透射對(duì)應(yīng)顏色波段的光，從而實(shí)現(xiàn)顯示器的彩色顯示。在CF制程當(dāng)中，包括光阻涂布、曝光、顯影等制程，其中，光阻涂布無(wú)疑是最為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，光阻涂布的均勻性以及光阻的厚度對(duì)于顯示效果都有很重要的影響。

如圖1所示，在大尺寸TFT-LCD彩膜基板的制作過(guò)程中，由于掩膜板10自重導(dǎo)致其中心區(qū)域13向下彎曲，造成其中心區(qū)域13和邊緣區(qū)域11圖形拉伸的大小不一樣，通過(guò)邊緣區(qū)域11、中部區(qū)域12、中心區(qū)域13曝光在彩膜基板1上得到的圖形尺寸分別為CD1、CD2、CD3，這樣在曝光量(投影式曝光)等工藝參數(shù)都相同的條件下，由于掩膜板10自重向下彎曲造成曝光得到的圖形尺寸大小不均一，即CD1<CD2<CD3，從而影響彩色濾光片的質(zhì)量。

在實(shí)際生產(chǎn)工藝中，上述差異表現(xiàn)為通過(guò)邊緣區(qū)域11得到的圖形尺寸CD1較小，容易造成漏光，而通過(guò)核心區(qū)域13得到的圖形尺寸CD3較大，容易造成混色，大大增加了彩色濾光片工藝調(diào)試的難度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種掩膜板，使用該掩膜板制作彩色濾光片，能夠得到線寬均勻的圖案，有效改善大尺寸顯示產(chǎn)品中彩色濾光片上圖形尺寸大小不均一的問(wèn)題。

本發(fā)明的目的還在于提供一種彩色濾光片的制作方法，采用上述的掩膜板，能夠得到線寬均勻的圖案，有效改善大尺寸顯示產(chǎn)品中彩色濾光片上圖形尺寸大小不均一的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種掩膜板，用于制作彩色濾光片，具有圖案區(qū)域，包括玻璃基板、以及設(shè)于所述玻璃基板上的金屬膜和多個(gè)半透膜；

所述金屬膜在玻璃基板上形成遮光區(qū)域，并在對(duì)應(yīng)所述圖案區(qū)域上設(shè)有數(shù)個(gè)開(kāi)口；

所述多個(gè)半透膜對(duì)應(yīng)設(shè)于所述圖案區(qū)域上，所述圖案區(qū)域?yàn)榘胪腹鈪^(qū)域；