[發明專利]光學元件、光學組件、光模塊及其制造方法有效
| 申請號: | 201810074291.7 | 申請日: | 2018-01-25 |
| 公開(公告)號: | CN109683218B | 公開(公告)日: | 2022-02-15 |
| 發明(設計)人: | 于登群;孫雨舟;陳龍 | 申請(專利權)人: | 蘇州旭創科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/00 | 分類號: | G02B5/00;G02B7/00 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈曉敏 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 元件 組件 模塊 及其 制造 方法 | ||
本申請揭示了一種光學元件、光學組件、光模塊及其制造方法,光學元件包括一光作用面、與光作用面相對的背面及連接光作用面和背面的安裝面,光作用面和/或背面上至少部分遠離中心的區域形成有金屬層。本申請的技術方案的光學元件相對設置的光作用面和/或背面具有金屬層,金屬層的形成過程會更加簡單便捷,可大幅降低生產成本,同時提高生產效率。
技術領域
本申請涉及光通信元件制造技術領域,尤其涉及一種光學元件、光學組件、光模塊及其制造方法。
背景技術
目前,在光學封裝中,光學鏡的封裝是一項重點。
光學組件中,最原始的TO結構激光器前端的光學鏡是封裝在TO封帽上的,結構穩定。但是,TO結構電學性能差,無法滿足越來越高的傳輸要求,各公司紛紛開發出新的TOSA(Transmitter Optical Subassembly,光發射模塊)結構。
在TOSA結構中,高速信號經過柔性PCB板或帶高頻線的陶瓷板到達激光器,此時,位于激光器前面用于激光光束整形的光學鏡放在支撐面上,或者在支撐面做一個V形槽,將光學鏡放入V形槽中。
現有技術中,一般通過膠水粘接光學鏡的底部及支撐面,可靠性差,或者是利用共晶焊工藝固定光學鏡底部及支撐面,此時光學鏡底部需要金屬化,光學鏡生產效率低,成本高。
發明內容
本申請一實施例提供一種光學元件,其可大幅降低生產成本,同時提高生產效率,光學元件包括一光作用面、與光作用面相對的背面及連接所述光作用面和背面的安裝面,所述光作用面和/或所述背面上至少部分遠離中心的區域形成有金屬層,所述安裝面鄰近安裝所述光學元件的基板設置,所述金屬層在所述光作用面和所述背面上正對設置,所述光學元件被配置為:通過切割基材形成多個分立的包含金屬層的光學元件。
一實施例中,所述金屬層用于與外部元件相焊接。
一實施例中,所述光學元件由半導體材料、陶瓷、玻璃或亞克力制成。
一實施例中,所述光學元件為透鏡、棱鏡、平面鏡、濾光片、波分復用器、分光器、波片或分束鏡。
一實施例中,所述光作用面和所述背面上均設有金屬層,所述金屬層在所述光作用面和所述背面上正對設置。
一實施例中,所述金屬層設在所述光作用面和/或所述背面的邊緣一圈。
本申請一實施例提供一種光學組件,包括光學元件和安裝所述光學元件的基板,所述光學元件的安裝面鄰近所述基板設置,所述光學元件的金屬層與基板焊接在一起來固定所述光學元件。
本申請一實施例提供一種光模塊,包括光學組件。
本申請一實施例提供一種光學元件制造方法,包括如下步驟:
提供一基材,在所述基材的工藝表面上形成多個并排排列的光學元件,所述光學元件的排列方向平行于所述光學元件的光作用面;
在所述光學元件的光作用面和/或所述背面上至少部分遠離中心的區域形成金屬層;
將多個并排排列的光學元件進行切割形成多個分立的光學元件。
一實施例中,所述基材為晶圓、陶瓷板、玻璃板或亞克力板。
一實施例中,步驟“在所述基材的工藝表面上形成多個并排排列的光學元件”具體包括:
通過掩膜、顯影、蝕刻工藝在所述基材的工藝表面上形成多個并排排列的光學元件。
一實施例中,相鄰的光學元件之間形成切割區域,所述金屬層形成于部分切割區域處。
一實施例中,所述光學元件為透鏡、棱鏡、平面鏡、濾光片、波分復用器、分光器、波片或分束鏡。
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