[發明專利]光學元件、光學組件、光模塊及其制造方法有效
| 申請號: | 201810074291.7 | 申請日: | 2018-01-25 |
| 公開(公告)號: | CN109683218B | 公開(公告)日: | 2022-02-15 |
| 發明(設計)人: | 于登群;孫雨舟;陳龍 | 申請(專利權)人: | 蘇州旭創科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/00 | 分類號: | G02B5/00;G02B7/00 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈曉敏 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光學 元件 組件 模塊 及其 制造 方法 | ||
1.一種光學元件,包括一光作用面、與光作用面相對的背面及連接所述光作用面和背面的安裝面,其特征在于,所述光作用面和/或所述背面上至少部分遠離中心的區域形成有金屬層,所述安裝面鄰近安裝所述光學元件的基板設置,所述光學元件被配置為:通過切割基材形成多個分立的包含金屬層的光學元件。
2.根據權利要求1所述的光學元件,其特征在于,所述金屬層用于與外部元件相焊接。
3.根據權利要求1或2所述的光學元件,其特征在于,所述光學元件由半導體材料、陶瓷、玻璃或亞克力制成。
4.根據權利要求2所述的光學元件,其特征在于,所述光學元件為透鏡、棱鏡、平面鏡、濾光片、波分復用器、分光器或波片。
5.根據權利要求2所述的光學元件,其特征在于,所述金屬層設在所述光作用面和/或所述背面的邊緣一圈。
6.根據權利要求1所述的光學元件,其特征在于,所述金屬層在所述光作用面和所述背面上正對設置。
7.一種光學組件,其特征在于,包括權利要求1至6中任一權利要求所述的光學元件和安裝所述光學元件的基板,所述光學元件的安裝面鄰近所述基板設置,所述光學元件的金屬層與基板焊接在一起來固定所述光學元件。
8.一種光模塊,其特征在于包括如權利要求7所述的光學組件。
9.一種光學元件制造方法,其特征在于,包括如下步驟:
提供一基材,在所述基材的工藝表面上形成多個并排排列的光學元件,所述光學元件的排列方向平行于所述光學元件的光作用面;
在所述光學元件的光作用面和/或背面上至少部分遠離中心的區域形成金屬層;
將多個并排排列的光學元件進行切割形成多個分立的光學元件,其中,切割區域包括連接所述光作用面及所述背面的安裝面,所述光學元件通過所述安裝面固定至基板。
10.根據權利要求9所述的光學元件制造方法,其特征在于,所述基材為晶圓、陶瓷板、玻璃板或亞克力板。
11.根據權利要求9所述的光學元件制造方法,其特征在于,相鄰的光學元件之間形成切割區域,所述金屬層形成于部分切割區域處。
12.根據權利要求9所述的光學元件制造方法,其特征在于,步驟“在所述基材的工藝表面上形成多個并排排列的光學元件”具體包括:
通過掩膜、顯影、蝕刻工藝在所述基材的工藝表面上形成多個并排排列的光學元件。
13.根據權利要求9所述的光學元件制造方法,其特征在于,所述光學元件為透鏡、棱鏡、平面鏡、濾光片、波分復用器、分光器或波片。
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