[發(fā)明專利]一種射頻微機械開關及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810066832.1
• 申請日: 2018-01-24
• 公開（公告）號: CN108109882B
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設計）人: 朱雁青;蘭曉東;童貝;李楊
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技（南京）有限公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00;H01H11/00;H01P1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種射頻微機械開關，包括基底，以及設置在所述基底上的信號部和接地部，所述信號部與所述接地部相互絕緣，其特征在于，

所述信號部包括形成在所述基底表面的信號主體以及自所述信號主體朝遠離所述信號主體方向延伸并懸置于所述基底上方的信號觸點，所述信號觸點包括與所述基底正對的第一接觸部以及連接所述第一接觸部與所述信號主體的第一連接臂；

所述接地部包括貼設在所述基底表面的接地主體以及自所述接地主體朝遠離所述接地主體方向延伸且懸置于所述基底上方的接地觸點，所述接地觸點包括與所述基底正對的第二接觸部以及連接所述第二接觸部與所述接地主體的第二連接臂；

所述射頻微機械開關還包括：設置在所述基底上的導通部，所述導通部分別與所述信號主體及所述接地主體間隔設置，所述導通部包括固定在所述基底上的固定電極以及分別自所述固定電極朝所述信號主體方向延伸的第一延伸臂及朝所述接地主體方向延伸的第二延伸臂；

所述第一延伸臂靠近所述固定電極的一端設置有第一驅動電極，所述第一延伸臂遠離所述第一驅動電極的一端懸置于所述基底上方且具有與所述第一接觸部正對的第一電連接部；

所述第二延伸臂靠近所述固定電極的一端設置有第二驅動電極，所述第二延伸臂遠離所述第二驅動電極的一端懸置于所述基底上方且具有與所述第二接觸部正對的第二電連接部；

所述第一延伸臂與所述第二延伸臂分別包含與所述驅動電極電連接的壓電材料層；所述固定電極接地時，通過在所述第一驅動電極和第二驅動電極上分別施加相反的電壓，分別驅動所述第一延伸臂與所述第二延伸臂以帶動所述第一電連接部與所述第二電連接部朝靠近或遠離所述基底的方向運動，實現(xiàn)所述第一電連接部與第一接觸部、以及所述第二電連接部與所述第二接觸部的導通或斷開，所述第一電連接部與所述第二電連接部的運動方向相反。

2.根據(jù)權利要求1所述的射頻微機械開關，其特征在于，兩個所述接地部間隔設置在所述基底上，所述信號部設置在所述接地部之間并分別與兩個所述接地部形成間隔，所述信號部包括相互間隔的第一信號部與第二信號部，所述固定電極包括固定在所述第一信號部與所述第二信號部之間的支撐座以及設置在所述支撐座上的電極片，所述第一延伸臂自所述支撐座分別朝朝所述第一信號部與第二信號部延伸，所述第二延伸臂自所述支撐座分別朝兩個所述接地部延伸。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的射頻微機械開關，其特征在于，所述導通部還包括自所述第一電連接部朝相鄰所述第二電連接部延伸的彈力臂，所述第一電連接部與所述第一驅動電極絕緣，所述第二電連接部與所述第二驅動電極絕緣。

4.根據(jù)權利要求3所述的射頻微機械開關，其特征在于，所述第一電連接部與每一相鄰所述第二電連接部之間均形成所述彈力臂；所述彈力臂與所述第一電連接部及所述第二電連接部共同圍成環(huán)形結構，所述彈力臂為導電彈力臂。

5.根據(jù)權利要求4所述的射頻微機械開關，其特征在于，所述彈力臂為弧形，所述固定電極位于所述環(huán)形結構的中心位置。

6.根據(jù)權利要求3所述的射頻微機械開關，其特征在于，所述基底上設置有絕緣介質層，所述信號部、所述接地部及所述導通部均設置在所述絕緣介質層上。

7.一種如權利要求1-6任一項所述的射頻微機械開關的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

在硅片表面沉積絕緣介質層；

在所述絕緣介質層上沉積下電極金屬層、壓電膜和上電極金屬層；

蝕刻所述下電極金屬層、所述壓電膜和所述上電極金屬層，形成懸臂梁；

蝕刻所述懸臂梁所在區(qū)域邊緣處的所述絕緣介質層；

在所述硅片上電鍍金屬層，蝕刻所述金屬層，形成微波信號傳輸線、固定電極、驅動電極以及環(huán)形導通部；

在所述導通部上方電鍍金屬層，形成用于連接所述微波信號傳輸線與所述導通部的金屬接觸結構；

蝕刻所述懸臂梁下方的二氧化硅層，以去除部分二氧化硅。