[發明專利]一種射頻微機械開關及其制作方法

有效

• 申請號: 201810066832.1
• 申請日: 2018-01-24
• 公開（公告）號: CN108109882B
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 朱雁青;蘭曉東;童貝;李楊
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技（南京）有限公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00;H01H11/00;H01P1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種射頻微機械開關，包括：基底、設置在基底上的導通部，以及懸置于基底上方的第一接觸部和第二接觸部；導通部包括固定在基底上的固定電極、第一延伸臂及第二延伸臂；第一延伸臂上設置有第一驅動電極，以及與第一接觸部正對的第一電連接部；第二延伸臂上設置有第二驅動電極，以及與第二接觸部正對的第二電連接部；固定電極接地時，通過在第一驅動電極和第二驅動電極上分別施加相反的電壓，分別驅動第一延伸臂與第二延伸臂朝相反的方向運動，實現第一電連接部與第一接觸部、以及第二電連接部與第二接觸部的導通或斷開。本發明實施方式提供的射頻微機械開關，能夠減小插入損耗，提高高頻段的隔離度和功率處理能力。

技術領域

本發明涉及電子器件領域，特別涉及一種射頻微機械開關及其制作方法。

背景技術

隨著微波或射頻通訊技術快速發展，為提高子系統、整機的性能和集成度，對微波/射頻微機械開關有著迫切的需求。微波/射頻微機械開關和傳統的微波元件如場效應晶體管、鐵氧體或PIN二極管相比，具有工作頻率高、功耗較小、插入損耗小、隔離度高等優點。微波/射頻微機械開關的執行機制有兩種：靜電作用和電磁作用。目前研究較多且比較成熟的是靜電驅動金屬接觸式微機械開關，開關結構主要包括三個部分，分別是懸臂梁或懸浮膜橋、驅動電極、微波導通線。

發明人發現現有技術中至少存在如下問題：現有技術中的靜電驅動射頻微機械開關插入損耗較大，且在高頻段的隔離度和功率處理能力不佳，限制了子系統集成度的進一步提高及其應用領域。因此，有必要提供一種新的射頻微機械開關的結構來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種射頻微機械開關，其能減小插入損耗，提高射頻微機械開關高頻段的隔離度和功率處理能力。

為解決上述技術問題，本發明的實施方式提供了一種射頻微機械開關，包括：基底，以及設置在所述基底上的信號部和接地部，所述信號部與所述接地部相互絕緣；

所述信號部包括形成在所述基底表面的信號主體以及自所述信號主體朝遠離所述信號主體方向延伸并懸置于所述基底上方的信號觸點，所述信號觸點包括與所述基底正對的第一接觸部以及連接所述第一接觸部與所述信號主體的第一連接臂；

所述接地部包括貼設在所述基底表面的接地主體以及自所述接地主體朝遠離所述接地主體方向延伸且懸置于所述基底上方的接地觸點，所述接地觸點包括與所述基底正對的第二接觸部以及連接所述第二接觸部與所述接地主體的第二連接臂；

所述射頻微機械開關還包括：設置在所述基底上的導通部，所述導通部分別與所述信號主體及所述接地主體間隔設置，所述導通部包括固定在所述基底上的固定電極以及分別自所述固定電極朝所述信號主體方向延伸的第一延伸臂及朝所述接地主體方向延伸的第二延伸臂；

所述第一延伸臂靠近所述固定電極的一端設置有第一驅動電極，所述第一延伸臂遠離所述第一驅動電極的一端懸置于所述基底上方且具有與所述第一接觸部正對的第一電連接部；

所述第二延伸臂靠近所述固定電極的一端設置有第二驅動電極，所述第二延伸臂遠離所述第二驅動電極的一端懸置于所述基底上方且具有與所述第二接觸部正對的第二電連接部；

所述固定電極接地時，通過在所述第一驅動電極和第二驅動電極上分別施加相反的電壓，分別驅動所述第一延伸臂與所述第二延伸臂以帶動所述第一電連接部與所述第二電連接部朝靠近或遠離所述基底的方向運動，實現所述第一電連接部與第一接觸部、以及所述第二電連接部與所述第二接觸部的導通或斷開，所述第一電連接部與所述第二電連接部的運動方向相反。

本發明的實施方式提供了一種上述射頻微機械開關的制造方法，包括以下步驟：

在硅片表面沉積絕緣介質層；

在所述絕緣介質層上沉積下電極金屬層、壓電膜和上電極金屬層；