[發明專利]處理微型盤狀零件的設備

在審

• 申請號: 201810063266.9
• 申請日: 2018-01-23
• 公開（公告）號: CN108054124A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 劉晶晶;翟榮安;王毓;顧倉;王純配;王磊;王飛;于振中;李文興
• 申請（專利權）人: 哈工大機器人（合肥）國際創新研究院
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 鄧娜

本發明提供一種處理微型盤狀零件的設備，包括三個區域，由上到下依次為框架頂端光源及觀測區、中間處理區、下部機器人及電機控制區。根據本發明所述的處理微型盤狀零件的設備，在處理晶片或微型盤狀零件時，電動推桿與機器人手臂配合，可實現手臂端部個自由度運動。電動推桿提供上下運動，機器人手臂可使翻滾機構在某一平面內移動，翻滾機構可使晶片或盤狀零件圍繞翻滾支撐輪與翻滾驅動輪的圓心連線軸轉動。具有結構簡單，占地面積小，吞吐量大的優點。

技術領域

本發明涉及檢測設備領域，特別涉及一種處理微型盤狀零件的設備。

背景技術

微型盤狀零件特別是半導體晶片，生產工藝復雜，導致這些零件總會出現不可避免的缺陷或錯誤，所以有效的檢測手段是極為必要的。目前較為廣泛的檢測技術為光學檢測，通過施加光源，調整盤狀零件角度方向，收集表面反射光來分析盤狀零件表面特性?，F有相關處理或檢測設備較為復雜，體積大，成本高，吞吐量小，不能滿足檢測要求。

有鑒于此，需要對現有技術進行改進，以滿足目前對處理微型盤狀零件的設備的使用要求。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種處理微型盤狀零件的設備，相對于現有的檢測設備，具有結構簡單，占地面積小，吞吐量大的優點。

為實現上述目的，發明提供如下技術方案：

一種處理微型盤狀零件的設備，包括三個區域，由上到下依次為框架頂端光源及觀測區、中間處理區、下部機器人及電機控制區。

進一步的，總體結構包括立體式的設備框架，在設備框架的上部安裝有光源及觀測區，在設備框架的下部安裝有機器人手臂及電機控制區，在設備框架的兩側設置工作臺A和工作臺B。

進一步的，在設備框架的中部為微型盤裝零件處理區，其中包括電動推桿、機器人手臂、翻轉機構保護殼、翻轉機構和盤狀零件。

進一步的，待檢測或處理的盤狀零件或晶片從工作臺A處，由電動推桿和機器人手臂調整姿態拾取至零件檢測處理區域并聯合翻轉機構對晶片或微型盤狀零件進行光學檢查或表面處理，處理完后，送至工作臺B。

附圖說明

圖1為本發明的處理微型盤狀零件的總體結構圖；

圖2本發明的微型盤裝零件處理區總體結構示意圖；

圖3為本發明的末端操作手支架結構示意圖；

圖4為本發明的末端操作手翻滾結構示意圖；

附圖標記說明：

1、設備框架；2、機器人手臂及電機控制區；3、電動推桿；4、機器人手臂；5、翻轉機構保護殼；6、翻滾機構；7、工作臺A；8、工作臺B；9、盤狀零件；10、光源及觀測區；11、機器人底座；12、機器人手臂驅動電機；13、翻滾支撐輪；14、翻滾驅動輪；15、晶片或微型盤狀零件夾持機構；16晶片或微型盤狀零件；17、翻滾機構驅動電機；18、小齒輪；19、輥A；20、輥B；21、軸承；22、支架A側；23、支架B側。

(注意：附圖中的所示結構只是為了說明發明特征的示意，并非是要依據附圖所示結構。)

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明：

如圖1所示，根據本發明所述的處理微型盤狀零件的設備，包括三個區域，由上到下依次為框架頂端光源及觀測區、中間處理區、下部機器人及電機控制區。

總體結構包括立體式的設備框架1，在設備框架1的上部安裝有光源及觀測區10，在設備框架1的下部安裝有機器人手臂及電機控制區，在設備框架1的兩側設置工作臺A7和工作臺B8。