[發明專利]處理微型盤狀零件的設備

在審

• 申請號: 201810063266.9
• 申請日: 2018-01-23
• 公開（公告）號: CN108054124A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 劉晶晶;翟榮安;王毓;顧倉;王純配;王磊;王飛;于振中;李文興
• 申請（專利權）人: 哈工大機器人（合肥）國際創新研究院
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 鄧娜

1.一種處理微型盤狀零件的設備，包括三個區域，由上到下依次為框架頂端光源及觀測區、中間處理區、下部機器人及電機控制區，其特征在于：

總體結構包括立體式的設備框架(1)，在設備框架(1)的上部安裝有光源及觀測區(10)，在設備框架(1)的下部安裝有機器人手臂及電機控制區，在設備框架(1)的兩側設置工作臺A(7)和工作臺B(8)；

在設備框架(1)的中部為微型盤裝零件處理區，其中包括電動推桿(3)、機器人手臂(4)、翻轉機構保護殼(5)、翻轉機構(6)和盤狀零件(9)；

待檢測或處理的盤狀零件或晶片從工作臺A(7)處，由電動推桿(3)和機器人手臂(4)調整姿態拾取至零件檢測處理區域并聯合翻轉機構(6)對晶片或微型盤狀零件(16)進行光學檢查或表面處理，處理完后，送至工作臺B(8)。

2.根據權利要求1所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

微型盤裝零件處理區包括機器人底座(11)、機器人手臂驅動電機(12)、翻滾支撐輪(13)、翻滾驅動輪(14)、晶片或微型盤狀零件夾持機構(15)和晶片或微型盤狀零件(16)。

3.根據權利要求2所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

機器人底座(11)中心設置電動推桿(3)，電動推桿(3)由機器人手臂驅動電機(12)驅動，電動推桿(3)提供上下運動，機器人手臂(4)可使翻滾機構(6)在某一平面內移動，翻滾機構(6)可使晶片或微型盤狀零件(16)圍繞翻滾支撐輪(13)與翻滾驅動輪(14)的圓心連線軸轉動。

4.根據權利要求3所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

末端操作手支架包括翻滾機構驅動電機(17)、小齒輪(18)、輥A(19)和輥B(20)、軸承(21)、支架A側(22)、支架B側(23)。

5.根據權利要求4所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

支架整體為“[”型結構，包括底部和底部兩側的支架A側(22)與支架B側(23)，在底部上水平安裝有翻滾機構驅動電機(17)，在支架B側(23)上設置有小齒輪(18)、輥A(19)和輥B(20)。

6.根據權利要求5所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

輥A(19)和輥B(20)通過軸承(21)設置在支架B側(23)的圓孔中，小齒輪(18)設置在支架B側(23)外側，并與翻滾機構驅動電機(17)配合。

7.根據權利要求6所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

末端操作手翻滾結構包括翻滾支撐輪(13)與翻滾驅動輪(14)，翻滾支撐輪(13)與翻滾驅動輪(14)均具有十字形支撐結構，并且兩輪的支撐結構通過一長方體固定部同軸相連，在翻滾驅動輪(14)外側，晶片或微型盤狀零件夾持機構(15)固定于該長方體固定部。

8.根據權利要求7所述的處理微型盤狀零件的設備，其特征在于：

翻滾驅動輪(14)具有一圈外齒，用于與小齒輪(18)嚙合。