日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]半導(dǎo)體元件及其形成方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201810061638.4 申請日: 2018-01-23
公開(公告)號: CN109216520B 公開(公告)日: 2020-06-23
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 黃彥綸;劉嘉哲;林嫚萱 申請(專利權(quán))人: 環(huán)球晶圓股份有限公司
主分類號: H01L33/12 分類號: H01L33/12;H01L33/00
代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 代理人: 吳志紅;臧建明
地址: 中國臺灣新竹市*** 國省代碼: 臺灣;71
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 元件 及其 形成 方法
【說明書】:

發(fā)明提供一種半導(dǎo)體元件及其形成方法,所述半導(dǎo)體元件包括:基板、半導(dǎo)體層以及緩沖結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體層位于基板上。緩沖結(jié)構(gòu)位于基板與半導(dǎo)體層之間。緩沖結(jié)構(gòu)包括多個(gè)第一層與多個(gè)第二層。第一層與第二層是以等間距的方式或非等間距的方式交替堆疊。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種集成電路及其形成方法,尤其涉及一種具有緩沖結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件及其形成方法。

背景技術(shù)

一般而言,在異質(zhì)基板(例如諸如藍(lán)寶石基板、SiC基板等類似基板)上形成III族氮化物半導(dǎo)體層的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)已廣泛地應(yīng)用在發(fā)光元件上。

然而,由于硅基板與III族氮化物半導(dǎo)體層之間的晶格失配(lattice mismatch)與熱膨脹系數(shù)的差異,其容易導(dǎo)致硅基板變形并使得III族氮化物半導(dǎo)體層產(chǎn)生裂紋(crack)等問題。此外,硅基板中的硅元素也容易擴(kuò)散至III族氮化物半導(dǎo)體層中,以與III族氮化物的金屬(例如鎵)形成共熔金屬(eutectic metal),進(jìn)而導(dǎo)致回熔(melt-back)現(xiàn)象,而造成基板平整度及磊晶品質(zhì)受到破壞,目前業(yè)界多采用在III族半導(dǎo)體層與硅基板之間插入一氮化鋁(AlN)層,用以避免回熔蝕刻的發(fā)生。

現(xiàn)有通過緩沖層的設(shè)置用以降低半導(dǎo)體層與基板之間的晶格系數(shù)差異,或是用以使異質(zhì)磊晶所產(chǎn)生的應(yīng)力釋放出來,進(jìn)而提高磊晶的晶體品質(zhì),故緩沖層的厚度對磊晶層品質(zhì)有正向關(guān)系。然而過厚的緩沖層雖能提高晶體品質(zhì),但也因?yàn)楣杌迮cIII族氮化物磊晶半導(dǎo)體層之間的熱膨脹系數(shù)差異,導(dǎo)至基板翹曲(Bow)的發(fā)生。故現(xiàn)今技術(shù)缺乏一種兼具晶體品質(zhì)與基板翹曲的緩沖層設(shè)計(jì)方法及其結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種具有緩沖結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件及其形成方法,其可降低硅基板與III族氮化物半導(dǎo)體層之間的晶格失配與熱膨脹系數(shù)的差異,進(jìn)而避免硅基板變形并減少III族氮化物半導(dǎo)體層產(chǎn)生裂紋的問題。

本發(fā)明提供一種具有緩沖結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體元件及其形成方法,其可降低III族氮化物半導(dǎo)體層的磊晶應(yīng)力,并增加III族氮化物半導(dǎo)體層的磊晶厚度,進(jìn)而提升半導(dǎo)體元件的崩潰電壓(breakdown voltage)。

本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體元件,包括:基板、半導(dǎo)體層以及緩沖結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體層位于基板上。緩沖結(jié)構(gòu)位于基板與半導(dǎo)體層之間。緩沖結(jié)構(gòu)包括多個(gè)第一層與多個(gè)第二層。第一層與第二層交替堆疊。第一層的層數(shù)大于或等于56,且半導(dǎo)體元件的彎曲程度小于10微米。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中,當(dāng)上述第一層與上述第二層是以等間距的方式交替堆疊時(shí),以上述緩沖結(jié)構(gòu)的總厚度計(jì),上述第一層的厚度總合介于17%至21%之間。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中,上述第一層的層數(shù)介于56至70之間。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中,上述緩沖結(jié)構(gòu)具有一底區(qū)、一中間區(qū),以及一頂區(qū),當(dāng)上述第一層與上述第二層是以非等間距的方式交替堆疊時(shí),上述底區(qū)的上述第一層的層數(shù)等于上述頂區(qū)的上述第一層的層數(shù),且所述底區(qū)的所述第一層的層數(shù)大于上述中間區(qū)的上述第一層的層數(shù)。以所述緩沖結(jié)構(gòu)的總厚度計(jì),所述第一層的厚度總合小于20%。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中,上述緩沖結(jié)構(gòu)具有底區(qū)、中間區(qū)以及頂區(qū),當(dāng)上述第一層與上述第二層是以非等間距的方式交替堆疊時(shí),上述頂區(qū)的上述第一層的層數(shù)大于上述底區(qū)的上述第一層的層數(shù),且所述底區(qū)的所述第一層的層數(shù)等于上述中間區(qū)的上述第一層的層數(shù)。以所述緩沖結(jié)構(gòu)的總厚度計(jì),所述第一層的厚度總合小于20%。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中,上述第一層包括AlN。第二層包括AlxGa1-xN,0≦X≦1。第二層的Al含量(也就是X值)從基板朝向半導(dǎo)體層的方向漸變。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中,上述半導(dǎo)體元件還包括成核層(nucleation layer)位于基板與緩沖結(jié)構(gòu)之間。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于環(huán)球晶圓股份有限公司,未經(jīng)環(huán)球晶圓股份有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201810061638.4/2.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产精品一区二区日韩新区| 右手影院av| 久久国产中文字幕| 国产在线拍揄自揄拍| 久久99亚洲精品久久99| 亚洲va国产| 国语对白老女人一级hd| 曰韩av在线| 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 欧美亚洲精品一区二区三区| 91精品啪在线观看国产手机 | _97夜夜澡人人爽人人| 国产免费第一区| 日韩精品免费一区二区中文字幕| 国产日韩欧美精品| 国产欧美一区二区精品久久久| 国产婷婷一区二区三区久久| 日本边做饭边被躁bd在线看| 国产大片黄在线观看私人影院 | 伊人av综合网| 国产精品久久久久免费a∨大胸| 国产一区二区伦理片| 中文字幕在线播放一区| 国产欧美一区二区在线观看| 国产99小视频| 少妇久久精品一区二区夜夜嗨 | 美女张开腿黄网站免费| 久久免费视频一区二区| 午夜wwww| 日韩av一区不卡| 午夜欧美a级理论片915影院| 久久久久国产精品www| 国产精品精品国内自产拍下载| 狠狠色噜噜狠狠狠狠色综合久老司机| 91久久久久久亚洲精品禁果| 国产一区在线免费| 国产真裸无庶纶乱视频| 午夜av在线电影| 午夜免费一级片| 在线观看黄色91| 国产伦精品一区二| 热99re久久免费视精品频软件| 精品一区中文字幕| 在线国产二区| 农村妇女毛片精品久久| 久久久久国产精品视频| 国产精品视频1区| 国语精品一区| 午夜亚洲影院| 久久青草欧美一区二区三区| 久久久久久亚洲精品中文字幕| 视频一区欧美| 国产一区二区三区影院| 久久99精品久久久大学生| 亚洲国产精品二区| 国产69精品久久久久孕妇不能看| 中文字幕久久精品一区| 97人人模人人爽视频一区二区| 91麻豆精品国产91久久久久推荐资源| 99精品国产一区二区三区不卡| 香蕉av一区二区| 性色av香蕉一区二区| 福利片91| 日韩精品久久一区二区| 欧美激情视频一区二区三区| 亚洲无人区码一码二码三码| 日本精品一区二区三区在线观看视频| 久久国产欧美日韩精品| 蜜臀久久99静品久久久久久| 右手影院av| 国产精品二十区| 亚洲一级中文字幕| 国产精品日韩一区二区| 亚洲激情中文字幕| 国产农村妇女精品一区二区 | 久久久久国产精品嫩草影院| 亚洲久色影视| 精品综合久久久久| 年轻bbwbbw高潮| 欧美一区二区三区视频在线观看| 国产一区精品在线观看| 国产日韩区| 国产伦精品一区二区三区电影| 国产一区二区三区影院| 国产第一区二区三区| 国产精品电影免费观看| 99久久国产综合精品色伊| 99精品欧美一区二区三区美图| 午夜av男人的天堂| 日韩精品免费一区二区中文字幕| 91精彩刺激对白露脸偷拍 | 亚洲精品乱码久久久久久蜜糖图片| 久久五月精品| 国产高清一区在线观看| 一区二区久久精品| 国产欧美精品久久| 日韩欧美一区二区久久婷婷| 日本精品视频一区二区三区 | 一区二区精品在线| 91精品久久天干天天天按摩| 欧美视屏一区| 国产精品综合在线| 日本一区中文字幕| 国产91免费在线| 久久艹国产精品| 97国产精品久久久| 欧美日韩一级在线观看| 欧美乱偷一区二区三区在线 | 中文av一区| 久久99精品国产麻豆宅宅| 国产一区二区三区黄| av不卡一区二区三区| 久久精品国产综合| 性old老妇做受| 欧美精品八区| 99re6国产露脸精品视频网站| 7777久久久国产精品| 久久精品国产亚| 亚洲欧美另类久久久精品2019| 欧美三级午夜理伦三级老人| 9999国产精品| 护士xxxx18一19| 亚洲乱玛2021| 精品国产一二区| ass韩国白嫩pics| 免费午夜在线视频| 国产亚洲精品久久久456| 午夜av片| 午夜av资源| 国产精品一区二区在线观看| 亚洲精品国产91| 亚洲精品国产精品国产| 国产一级自拍| 91avpro| 日韩欧美激情| 国产91久| 99久热精品| 久久五月精品| 欧美一区二区三区久久久精品| 亚洲国产一区二区精华液| 韩国女主播一区二区| 精品国产乱码久久久久久老虎| 狠狠搞av| 欧美日韩中文国产一区发布| 日本一区二区三区免费视频| 亚洲精品一品区二品区三品区 | 三级午夜片| 久久精品99国产国产| 国产女性无套免费看网站| 久久国产精品久久久久久电车| 久久久久国产亚洲| 91超碰caoporm国产香蕉| 96国产精品视频| 国产午夜亚洲精品羞羞网站| 亚洲精品久久久久玩吗| 麻豆91在线| 国产欧美一区二区精品久久| 爽妇色啪网| 国产精品一区二区在线观看免费| 国产一区二区伦理| 国产天堂第一区| 日本一区二区欧美| 69xx国产| 精品国产九九九| 久久亚洲精品国产一区最新章节| 国产婷婷一区二区三区久久| 久久精品国产99| 欧美hdxxxx| 中文字幕欧美日韩一区 | 日本午夜影视| 欧美精品一区二区三区四区在线| 国产欧美一区二区三区免费视频| 好吊色欧美一区二区三区视频| 国产69精品久久久久777糖心| 福利视频亚洲一区| 欧美日韩一区二区高清| 日韩精品中文字幕在线| 午夜三级大片| 午夜无遮挡| 久久福利视频网| 一区精品二区国产| 91精品国产91热久久久做人人| 国产在线播放一区二区| 99久久国产免费,99久久国产免费大片 | 国产69精品久久久久999天美| 年轻bbwwbbww高潮| 国产理论一区二区三区 | 久久一级精品视频| 久久精品视频一区二区| 99国产精品9| 欧美日韩国产区| 偷拍自中文字av在线| 久久综合国产伦精品免费| 色就是色欧美亚洲| 玖玖国产精品视频| 秋霞av电影网| 91久久香蕉| 精品国产乱码一区二区三区在线| 99久久婷婷国产综合精品草原| 精品一区二区三区视频?| 免费精品一区二区三区视频日产| 亚洲精品久久久久久久久久久久久久 | 国产午夜一区二区三区| 91高跟紫色丝袜呻吟在线观看| 亚洲制服丝袜在线| 日韩欧美国产中文字幕| 性精品18videosex欧美| 日本高清一二三区| 国产精品一区二区久久乐夜夜嗨| 精品欧美一区二区精品久久小说 | 日韩av三区| 91精品久久久久久久久久| 99国产精品丝袜久久久久久| 日韩av中文字幕在线免费观看| 国产91久| 国产一区免费在线| 国产精品乱综合在线| 国产一区二区在| 欧美日韩偷拍一区| 国产第一区二区三区| 久久伊人色综合| 欧美日韩中文字幕一区| 亚洲欧美制服丝腿| 久久夜色精品国产噜噜麻豆| 国产乱人伦精品一区二区| 国产精品一区在线播放| 中文字幕日本精品一区二区三区| 国产69精品久久99不卡解锁版 | 国产无套精品久久久久久| 国产欧美日韩亚洲另类第一第二页| 亚洲精品乱码久久久久久按摩| 91麻豆国产自产在线观看hd| 香蕉av一区二区| 狠狠色丁香久久婷婷综| 亚洲精品欧美精品日韩精品| 欧美一区二区三区四区夜夜大片 | 国产精品视频久久久久久| 亚洲五码在线| 免费在线观看国产精品| 91精品国产91久久久| 国产女人和拘做受视频免费| 日韩av中文字幕一区二区| 97久久国产亚洲精品超碰热| 国产视频一区二区在线| 国产精品亚发布| 亚洲欧美中日精品高清一区二区 |