[發明專利]一種掩膜裝置、顯示面板及其制作方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201810060860.2
• 申請日: 2018-01-22
• 公開（公告）號: CN108277473B
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 王偉;詹志鋒;楊恕權
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/04
• 分類號: C23C16/04;H01L51/52
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 周娟

本發明公開一種掩膜裝置、顯示面板及其制作方法、顯示裝置，涉及顯示技術領域，以在顯示面板的封裝膜層開孔時，降低封裝膜層產生裂紋的風險。該掩膜裝置包括至少一種掩膜版；每種掩膜版包括邊框遮擋部，邊框遮擋部具有材料透過區域，材料透過區域設有開孔遮擋部，邊框遮擋部和開孔遮擋部通過位于材料透過區域的定位遮擋部連接，掩膜裝置應用于基板成膜時，成膜工藝的陰影效應下，定位遮擋部在基板的正投影覆蓋區域形成膜層。所述顯示面板使用上述掩膜裝置形成封裝膜層。本發明提供的掩膜裝置、顯示面板及其制作方法、顯示裝置用于封裝膜層形成中。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種掩膜裝置、顯示面板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術

隨著顯示技術的發展，顯示設備的邊框越來越窄，甚至呈現無邊框的視覺效果，這極大的提高了顯示設備的屏占比，使得用戶的視覺體驗得到了提升。

對于窄邊框的顯示設備來說，有的功能器件需要在顯示設備的屏幕開孔，才能保證正常工作。以在顯示設備的屏幕開孔區設置的功能器件。例如：對全屏化手機，其前置攝像頭位于全屏化手機的屏幕區域，而全屏化手機對應前置攝像頭的位置開設功能孔，以保證前置攝像頭正常工作，

然而，在顯示設備的屏幕上進行開孔時，一般在顯示設備的顯示面板封裝完成后，就需要利用激光在顯示面板的封裝膜層進行開孔操作。而現有顯示面板的封裝膜層采用無機材料制成，當使用激光在顯示面板的封裝膜層上開孔時，會使得顯示面板的封裝膜層具有產生裂紋的風險，降低了顯示設備的成品率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種掩膜裝置、顯示面板及其制作方法、顯示裝置，以在顯示面板的封裝膜層開孔時，降低封裝膜層產生裂紋的風險。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種掩膜裝置，用于基板成膜中，所述掩膜裝置包括至少一種掩膜版；每種所述掩膜版包括與基板邊框區域相對應的邊框遮擋部，所述邊框遮擋部具有與基板顯示區域對應的材料透過區域，所述材料透過區域設有與基板顯示區域的開孔位置對應的開孔遮擋部，所述邊框遮擋部和所述開孔遮擋部通過位于材料透過區域的定位遮擋部連接，所述定位遮擋部至少為一個；所述掩膜裝置應用于基板成膜時，成膜工藝的陰影效應下，所述定位遮擋部在基板的正投影覆蓋區域形成膜層。

與現有技術相比，本發明提供的掩膜裝置中，每種掩膜版的邊框遮擋部具有與基板顯示區域對應的材料透過區域，材料透過區域設有與基板顯示區域的開孔位置對應的開孔遮擋部，邊框遮擋部和開孔遮擋部通過位于材料透過區域的定位遮擋部連接，使得開孔遮擋部的位置固定；而由于掩膜裝置應用于基板成膜時，在成膜工藝的陰影效應下定位遮擋部在基板的正投影覆蓋區域形成膜層；當掩膜裝置應用于基板封裝時，可以利用邊框遮擋部和開孔遮擋部遮擋無機成膜材料，使得成膜材料從材料透過區域穿過掩膜版在基板顯示區域內形成無機封裝膜層，以及借助成膜工藝的陰影效應，使得定位遮擋部在基板的正投影覆蓋區域形成無機封裝膜層，這樣就能夠保證基板的顯示區域實現無機膜層封裝的同時，完成在無機封裝膜層上形成過孔的目的，從而避免在基板的顯示區域實現無機膜層封裝后，利用激光在無機膜層進行開孔操作所產生的膜層裂紋問題。

本發明還提供了一種顯示面板，該顯示面板包括顯示基板，以及采用掩膜工藝形成的封裝膜層，所述掩膜工藝應用上述技術方案所述的掩膜裝置。

與現有技術相比，本發明提供的顯示面板的有益效果與上述技術方案提供的掩膜裝置的有益效果相同，在此不做贅述。

本發明還提供了一種顯示面板的制作方法，該顯示面板的制作方法包括：

提供一種顯示基板；所述顯示基板包括顯示區域和邊框區域；

采用掩膜工藝在所述顯示基板的功能膜層表面形成封裝膜層，得到顯示面板；所述掩膜工藝使用上述技術方案所述的掩膜裝置。