[發明專利]蒸鍍方法及蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201810060024.4
• 申請日: 2018-01-22
• 公開（公告）號: CN108456866A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 肖馮俊樹;李椿光;蔡曉義;柯賢軍;蘇君海;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

本發明涉及一種蒸鍍設備及蒸鍍方法。所述蒸鍍設備包括多個相互串聯的蒸鍍裝置，每一所述蒸鍍裝置包括傳送機構與蒸鍍機構，所述傳送機構采用所述蒸鍍方法用于將所述玻璃基板投送于所述蒸鍍機構中進行蒸鍍。其中，所述蒸鍍方法，用于蒸鍍玻璃基板，包括如下步驟：根據所述玻璃基板的結構預設蒸鍍路徑信息；交替投送具有不同結構的所述玻璃基板；依次識別交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸鍍路徑信息分別對各所述玻璃基板進行蒸鍍。所述蒸鍍設備通過所述蒸鍍方法實現同時蒸鍍兩種不同產品類型的玻璃基板。

技術領域

本發明涉及基板蒸鍍技術領域，特別是涉及一種蒸鍍方法及蒸鍍設備。

背景技術

真空蒸鍍技術是當前量產小尺寸OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)制程的核心技術之一，不同產品類型的玻璃OLED器件結構使用不同的蒸鍍材料和工藝。有些不同產品類型的玻璃器件結構是相同的，即所用的蒸鍍材料和蒸鍍工藝都相同，只是OLED蒸鍍制程過程所使用的MASK(掩膜板)不相同。

當某一產品類型玻璃OLED配套的MASK較少時，若進行2in1(同時使用兩個蒸鍍腔完成對位和蒸鍍)生產此型號玻璃，由于MASK清洗不及時或MASK出現異常因素等，容易導致MASK供應不上致使蒸鍍空白時間增加甚至是產線停產，因此量產時只能1in1(只使用一個蒸鍍子腔完成對位和蒸鍍)生產。然而，使用1in1量產時，每個蒸鍍腔只使用一個子腔，完成對位和蒸鍍過程，設備稼動率較低，整體節拍較慢。并且蒸鍍前對位大約需要15-30秒時間，玻璃傳入和傳出需要大約10-20秒，以及蒸鍍腔蒸鍍節拍不一致導致的蒸發源空白等待的時間，這些時間內蒸發源材料在空燒，造成蒸鍍材料的浪費，降低了材料的利用率，增加了生產成本。而若重新開模制作MASK，無疑增大了投入成本。

針對此，可加入器件結構相同的另一種產品類型玻璃轉為2in1生產。然而由于目前蒸鍍控制系統的局限性，若只使用一條蒸鍍線是不能對兩種不同產品類型基板進行同時蒸鍍。

現有技術中，有時依據生產供應要求，需要兩種型號玻璃出貨。因此只能優先生產其中一種產品類型玻璃，再對蒸鍍腔體進行降溫、更換擋板、清潔腔體和添加材料，這期間需要花費的時間大約為1-3天，之后重新升溫量產另一個產品類型的玻璃。這個過程延長了生產周期，降低了生產效率。也就是說，由于當前蒸鍍控制系統的局限性，量產時使用一條蒸鍍線不能同時生產兩種產品類型的玻璃，導致增加了生產時間，降低了生產效率。

發明內容

基于此，有必要針對現有技術中蒸鍍方式的局限性，導致無法通過使用一條蒸鍍線對兩種不同產品類型的玻璃基板進行同時蒸鍍的問題，提供一種可實現同時蒸鍍兩種不同產品類型的玻璃基板的蒸鍍方法及蒸鍍設備。

一種蒸鍍方法，用于蒸鍍玻璃基板，包括如下步驟：

根據所述玻璃基板的結構預設蒸鍍路徑信息；

交替投送具有不同結構的所述玻璃基板；

依次識別交替投送的所述玻璃基板；

按照所述蒸鍍路徑信息分別對各所述玻璃基板進行蒸鍍。

在其中一個實施例中，根據所述玻璃基板的結構預設蒸鍍路徑信息的步驟之后還包括：存儲所述蒸鍍路徑信息。

在其中一個實施例中，存儲所述蒸鍍路徑信息的步驟包括：按照所述玻璃基板的工藝程序ID進行存儲。

在其中一個實施例中，依次識別交替投送的所述玻璃基板的步驟包括：通過所述玻璃基板的工藝程序ID識別所述玻璃基板。

在其中一個實施例中，存儲所述蒸鍍路徑信息的步驟包括：將所述蒸鍍路徑信息存儲于用于蒸鍍所述玻璃基板的控制系統中。

在其中一個實施例中，按照所述蒸鍍路徑信息分別對各所述玻璃基板進行蒸鍍的步驟包括：采用所述控制系統調整所述玻璃基板的蒸鍍時間與投送速度。