[發明專利]蒸鍍方法及蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201810060024.4
• 申請日: 2018-01-22
• 公開（公告）號: CN108456866A
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 肖馮俊樹;李椿光;蔡曉義;柯賢軍;蘇君海;李建華
• 申請（專利權）人: 信利（惠州）智能顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 葉劍

1.一種蒸鍍方法，用于蒸鍍玻璃基板，其特征在于，包括如下步驟：

根據所述玻璃基板的結構預設蒸鍍路徑信息；

交替投送具有不同結構的所述玻璃基板；

依次識別交替投送的所述玻璃基板；

按照所述蒸鍍路徑信息分別對各所述玻璃基板進行蒸鍍。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍方法，其特征在于，根據所述玻璃基板的結構預設蒸鍍路徑信息的步驟之后還包括：存儲所述蒸鍍路徑信息。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍方法，其特征在于，存儲所述蒸鍍路徑信息的步驟包括：按照所述玻璃基板的工藝程序ID進行存儲。

4.根據權利要求3所述的蒸鍍方法，其特征在于，依次識別交替投送的所述玻璃基板的步驟包括：通過所述玻璃基板的工藝程序ID識別所述玻璃基板。

5.根據權利要求2所述的蒸鍍方法，其特征在于，存儲所述蒸鍍路徑信息的步驟包括：將所述蒸鍍路徑信息存儲于用于蒸鍍所述玻璃基板的控制系統中。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍方法，其特征在于，按照所述蒸鍍路徑信息分別對各所述玻璃基板進行蒸鍍的步驟包括：采用所述控制系統調整所述玻璃基板的蒸鍍時間與投送速度。

7.根據權利要求1所述的蒸鍍方法，其特征在于，按照所述蒸鍍路徑信息分別對各所述玻璃基板進行蒸鍍的步驟包括：采用機械手將所述玻璃基板按照所述蒸鍍路徑分別投入或取出對應的蒸鍍腔體。

8.根據權利要求1所述的蒸鍍方法，其特征在于，根據所述玻璃基板的結構預設蒸鍍路徑信息的步驟之后還包括：按照所述蒸鍍路徑信息在所述玻璃基板的蒸鍍腔室內對應放置掩膜板。

9.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括多個相互串聯的蒸鍍裝置，每一所述蒸鍍裝置包括傳送機構與蒸鍍機構，所述傳送機構采用權利要求1至8中任一項所述的蒸鍍方法實現，用于將所述玻璃基板投送于所述蒸鍍機構中進行蒸鍍。

10.根據權利要求9所述的蒸鍍設備，其特征在于，每一所述蒸鍍裝置還包括控制總機，所述控制總機與傳送機構通信連接。