[發(fā)明專利]一種掩模板及其制作方法、顯示基板

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810058877.4
• 申請(qǐng)日: 2018-01-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108277510A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘晟愷;熊騰青;喬永康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥鑫晟光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C25D1/10
• 分類號(hào): C25D1/10;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種掩模板的制作方法，其特征在于，包括：

形成一模版，所述模版包括底板和位于所述底板上的多個(gè)獨(dú)立的凸臺(tái)，所述凸臺(tái)具有絕緣性；

通過(guò)電鑄工藝在所述模版除所述凸臺(tái)之外的區(qū)域形成金屬層；

將所述模版與所述金屬層分離，形成具有多個(gè)通孔的掩模板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板的制作方法，其特征在于，形成所述模版的步驟包括：

提供一底板，所述底板包括基底和位于所述基底上的導(dǎo)電層；

利用3D打印技術(shù)，在所述導(dǎo)電層上形成多個(gè)獨(dú)立的凸臺(tái)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述利用3D打印技術(shù)，在所述導(dǎo)電層上形成多個(gè)獨(dú)立的凸臺(tái)包括：

利用碳纖維樹(shù)脂材料，采用3D打印設(shè)備在所述導(dǎo)電層上形成多個(gè)獨(dú)立的凸臺(tái)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述凸臺(tái)的側(cè)面與所述導(dǎo)電層之間的夾角小于或等于90度。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述凸臺(tái)為圓臺(tái)、棱臺(tái)、圓柱體、橢圓柱體或棱柱體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板的制作方法，其特征在于，所述通過(guò)電鑄工藝在所述模版除所述凸臺(tái)之外的區(qū)域形成金屬層的步驟具體包括：

將所述模版和電鍍靶放置在盛裝有電鍍液的電鍍池中；

將所述模版與直流電源的負(fù)極連接，并將所述電鍍靶與所述直流電源的正極連接，通過(guò)所述直流電源為所述模版和所述電鍍靶施加電信號(hào)；

在所述電信號(hào)的作用下，所述電鍍液中的金屬陽(yáng)離子在所述模版上發(fā)生電沉積，以形成所述金屬層。

7.一種掩模板，其特征在于，采用如權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的掩模板的制作方法制作。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板包括多個(gè)通孔。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩模板，其特征在于，所述通孔的深度在5um-100um之間，所述通孔的側(cè)壁與所述掩模板表面的夾角小于或等于90度。

10.一種顯示基板，其特征在于，所述顯示基板的有機(jī)發(fā)光層為采用如權(quán)利要求7-9中任一項(xiàng)所述的掩模板制作得到。