[發(fā)明專利]一種環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810058164.8 | 申請(qǐng)日: | 2018-01-22 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108251824A | 公開(公告)日: | 2018-07-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃雷 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 昆山成功環(huán)保科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C18/36 | 分類號(hào): | C23C18/36 |
| 代理公司: | 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232 | 代理人: | 黃珩 |
| 地址: | 215300 江蘇省蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 化學(xué)沉鎳 環(huán)保型 緩沖劑 還原劑 絡(luò)合劑 穩(wěn)定劑 鎳鹽 半導(dǎo)體晶圓 導(dǎo)電性能 化學(xué)鍍鎳 鉛離子 鍍層 鍍鎳 | ||
1.一種環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,所述環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液由鎳鹽、還原劑、絡(luò)合劑、緩沖劑、穩(wěn)定劑、水組成,每1升所述環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液包括以下組成成分:所述鎳鹽的濃度為5~50g/L、所述還原劑的濃度為5~50g/L、所述絡(luò)合劑的濃度為5~50g/L、所述穩(wěn)定劑的濃度為0.5~2.0ppm,以緩沖劑調(diào)節(jié)體系pH值至4.2~5.5。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,所述鎳鹽為硫酸鎳、氧化鎳、碳酸鎳中的一種或多種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,所述還原劑為次亞磷酸鈉、次磷酸鈉、次磷酸鉀中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,所述絡(luò)合劑為乳酸、酒石酸、檸檬酸、己二酸中的一種或多種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,所述緩沖劑為冰乙酸。
6.如權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,所述穩(wěn)定劑為酒石酸銻鉀、檸檬酸鉍、三氧化二鉍中的至少一種。
7.如權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,每1升所述環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液包括以下組成成分:
以緩沖劑調(diào)節(jié)體系pH值至4.2~5.5,
余量為去離子水。
8.如權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,每1升所述環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液包括以下組成成分:
以緩沖劑調(diào)節(jié)體系pH值至4.2~5.5,
余量為去離子水。
9.如權(quán)利要求1所述的環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液,其特征在于,每1升所述環(huán)保型化學(xué)沉鎳溶液包括以下組成成分:
以緩沖劑調(diào)節(jié)體系pH值至4.2~5.5,
余量為去離子水。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C18-00 通過液態(tài)化合物分解抑或覆層形成化合物溶液分解、且覆層中不留存表面材料反應(yīng)產(chǎn)物的化學(xué)鍍覆
C23C18-02 .熱分解法
C23C18-14 .輻射分解法,例如光分解、粒子輻射
C23C18-16 .還原法或置換法,例如無(wú)電流鍍
C23C18-54 .接觸鍍,即無(wú)電流化學(xué)鍍
C23C18-18 ..待鍍材料的預(yù)處理





