[發明專利]一種加熱裝置及光刻設備

有效

• 申請號: 201810056859.2
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN107966886B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 毛元杰;盧凱;李京鵬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/38
• 分類號: G03F7/38;G03F7/40
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 賈瑩

1.一種加熱裝置，其特征在于，應用于光刻設備中，所述加熱裝置包括加熱盤；所述加熱盤包括多個子加熱部；

相鄰的所述子加熱部通過活動連接件相連接，相鄰兩個所述子加熱部通過所述活動連接件折疊或展開；

所述加熱裝置還包括多個定位部，所述定位部位于相鄰兩個所述子加熱部相接的位置；

當加熱盤工作時，所述定位部對相鄰兩個子加熱部相接的位置進行支撐，使各個子加熱部保持水平狀態；當加熱盤不工作時，加熱盤中的各個子加熱部在沒有定位部進行支撐的情況下，會受到重力的作用而發生傾斜。

2.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述定位部設置于與所述加熱盤的承載面相對的一側；

所述加熱裝置還包括與所述定位部背離所述加熱盤的一端相連接的第一升降機構；所述第一升降機構用于驅動所述定位部沿垂直于所述加熱盤承載面的方向運動。

3.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述加熱裝置還包括多個支撐柱；所述子加熱部上設置有用于穿過所述支撐柱的過孔。

4.根據權利要求3所述的加熱裝置，其特征在于，所述加熱裝置還包括與所述支撐柱背離所述加熱盤的一端相連接的第二升降機構；所述第二升降機構用于驅動所述支撐柱沿垂直于所述加熱盤承載面的方向運動。

5.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述活動連接件為鉸接件。

6.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述子加熱部為條狀，且多個所述子加熱部并排設置。

7.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述子加熱部上設置有真空吸附孔；

所述加熱裝置還包括真空吸附裝置，所述真空吸附裝置的吸風口的位置與所述真空吸附孔的位置相對應。

8.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，所述子加熱部內部排布有水管。

9.根據權利要求3所述的加熱裝置，其特征在于，所述多個支撐柱分布均勻。

10.一種光刻設備，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的加熱裝置。