[發明專利]柔性AMOLED基板及其制作方法

有效

• 申請號: 201810055710.2
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN108054192B
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 喻蕾;李松杉
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00
• 代理公司: 44265 深圳市德力知識產權代理事務所
• 代理人: 林才桂;聞盼盼

本發明提供一種柔性AMOLED基板及其制作方法。本發明的柔性AMOLED基板的制作方法包括：形成柔性襯底，所述柔性襯底包括顯示區及位于顯示區外圍的彎折區；在所述柔性襯底上形成緩沖層，去除緩沖層上位于彎折區的部分，保留緩沖層上位于顯示區的部分，使得柔性AMOLED基板的彎折區中的無機絕緣層的厚度減小，提升柔性AMOLED基板的彎折區的耐彎折性，從而提高生產良率。本發明的柔性AMOLED基板采用上述方法制得，所述柔性AMOLED基板的彎折區中的無機絕緣層的厚度較小，柔性AMOLED基板的彎折區的耐彎折性較好，生產良率高。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種柔性AMOLED基板及其制作方法。

背景技術

平面顯示器件具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點，得到了廣泛的應用。現有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有機電致發光顯示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。

OLED顯示器件以其自發光、全固態、高對比度等優點，成為近年來最具潛力的新型顯示器件。而OLED顯示器件最大的特點在于可以實現柔性顯示，采用柔性襯底制成重量輕、可彎曲、便于攜帶的柔性顯示器件是OLED顯示器件的重要發展方向。

OLED按照驅動方式可以分為無源矩陣型OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)和有源矩陣型OLED(Active Matrix OLED，AMOLED)兩大類，即直接尋址和薄膜晶體管矩陣尋址兩類。其中，AMOLED具有呈陣列式排布的像素，屬于主動顯示類型，發光效能高，通常用作高清晰度的大尺寸顯示裝置。

圖1為現有的柔性AMOLED基板的結構示意圖，如圖1所示，所述柔性AMOLED基板包括柔性襯底110，所述柔性襯底110包括顯示區及位于顯示區外圍的彎折(bending)區，所述柔性襯底110的顯示區與彎折區上均設有緩沖層120，所述柔性襯底110的顯示區上還設有位于緩沖層120上的有源層200、位于有源層200與緩沖層120上的柵極絕緣層400、位于柵極絕緣層400上的柵極410、位于柵極410與柵極絕緣層400上的層間介電層500、位于層間介電層500上的源極610與漏極620、位于源極610、漏極620、層間介電層500上的平坦層700、位于平坦層700上的陽極850、位于平坦層700、陽極850上的像素定義層900、位于陽極850上的OLED發光層950；所述柔性襯底110的彎折區上還設有位于緩沖層120上的柵極絕緣層400、位于柵極絕緣層400上的層間介電層500、位于層間介電層500上的平坦層700、位于平坦層700上的像素定義層900；由于所述柔性襯底110的彎折區上設有緩沖層120、柵極絕緣層400、層間介電層500三個無機絕緣層，因此無機絕緣層的厚度較大，使得所述柔性AMOLED基板的彎折區的耐彎折性較差，容易斷裂，嚴重影響柔性AMOLED基板的生產良率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種柔性AMOLED基板的制作方法，能夠提升柔性AMOLED基板的彎折區的耐彎折性，從而提高生產良率。

本發明的目的還在于提供一種柔性AMOLED基板，彎折區的耐彎折性較好，生產良率高。

為實現上述目的，本發明提供一種柔性AMOLED基板的制作方法，包括：形成柔性襯底，所述柔性襯底包括顯示區及位于顯示區外圍的彎折區；在所述柔性襯底上形成緩沖層，去除緩沖層上位于彎折區的部分，保留緩沖層上位于顯示區的部分。

所述柔性AMOLED基板的制作方法具體包括如下步驟：

步驟1、提供剛性載板，在所述剛性載板上形成柔性襯底，所述柔性襯底包括顯示區及位于顯示區外圍的彎折區；

在所述柔性襯底上形成緩沖層，在所述緩沖層上形成多晶硅層；