[發(fā)明專利]涂敷裝置以及涂敷方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810055183.5 | 申請日： | 2018-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN108325788B | 公開（公告）日： | 2020-09-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 安陪裕滋 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社斯庫林集團 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;崔炳哲 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 裝置 以及 方法 | ||
1.一種涂敷裝置，其特征在于，具備：
浮起機構(gòu)，使基板浮起；
基板搬運機構(gòu)，搬運由所述浮起機構(gòu)浮起的所述基板；
噴嘴，從該噴嘴的吐出口向由所述基板搬運機構(gòu)搬運的所述基板排出涂敷液并涂敷；以及
噴嘴移動機構(gòu)，使正在排出所述涂敷液的所述噴嘴向與所述基板的搬運方向相反的相反方向移動，
所述浮起機構(gòu)具有：
涂敷浮起部，所述涂敷浮起部具有沿所述搬運方向排列有多個孔列的面，所述孔列是沿與所述搬運方向正交的寬度方向交替地配置噴出氣體的噴出孔以及吸引氣體的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板從所述面浮起，或者，所述涂敷浮起部具有沿所述搬運方向交替地排列有沿寬度方向配置多個所述噴出孔而成的孔列和沿所述寬度方向配置多個所述吸引孔而成的孔列的面，所述涂敷浮起部使所述基板從所述面浮起；以及
上游側(cè)輔助浮起部，在所述搬運方向上與所述涂敷浮起部的上游側(cè)鄰接設(shè)置，向所述基板賦予浮起力，
在由所述基板搬運機構(gòu)搬運的所述基板的前端通過多個所述孔列中的在所述搬運方向上位于最上游的最上游孔列的上方后，停止從所述噴嘴向由所述涂敷浮起部浮起的所述基板排出所述涂敷液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于，
所述噴嘴移動機構(gòu)以所述吐出口在停止排出所述涂敷液的時刻位于多個所述孔列中的相互鄰接的第三孔列與第四孔列之間的上方的方式使所述噴嘴移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂敷裝置，其特征在于，
所述第三孔列是所述最上游孔列，所述第四孔列是在所述搬運方向上配置于所述最上游孔列的下游側(cè)的孔列。
4.一種涂敷方法，其特征在于，具備：
涂敷工序，搬運由涂敷浮起部浮起的基板，并且一邊使噴嘴向與所述基板的搬運方向相反的相反方向移動，一邊從所述噴嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于所述基板；以及
搬入工序，由在所述搬運方向上與所述涂敷浮起部的上游側(cè)鄰接設(shè)置的上游側(cè)輔助浮起部使應搬運至所述涂敷浮起部的所述基板浮起并沿所述搬運方向搬運，
所述涂敷浮起部構(gòu)成為，所述涂敷浮起部具有沿所述搬運方向排列多個孔列的面，所述孔列是沿與所述搬運方向正交的寬度方向交替地配置噴出氣體的噴出孔以及吸引氣體的吸引孔而成的孔列，所述涂敷浮起部使所述基板從所述面浮起，或者，所述涂敷浮起部具有沿所述搬運方向交替地排列有沿所述寬度方向配置多個所述噴出孔而成的孔列和沿所述寬度方向配置多個所述吸引孔而成的孔列的面，所述涂敷浮起部使所述基板從所述面浮起，此時，
在所述涂敷工序中，在所述基板的前端通過多個所述孔列中的在所述搬運方向上位于最上游的最上游孔列的上方后，停止從所述噴嘴向由所述涂敷浮起部浮起的所述基板排出所述涂敷液。
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