[發明專利]涂敷裝置以及涂敷方法

有效

• 申請號: 201810055183.5
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN108325788B
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 安陪裕滋
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C13/02
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;崔炳哲

本發明提供涂敷裝置以及涂敷方法。在一邊以使基板浮起的狀態進行搬運，并且使噴嘴向與基板的搬運方向相逆的方向移動，一邊從噴嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷于基板的涂敷技術中，使涂敷于基板的涂敷液的厚度穩定化。在由基板搬運機構搬運的上述基板的前端到達上述多個孔列中的上述搬運方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，開始從上述噴嘴向由上述涂敷浮起部浮起的上述基板排出上述涂敷液，并且，開始使上述噴嘴向上述相逆方向移動。

技術領域

本發明涉及通過搬運基板并且使從吐出口排出涂敷液的噴嘴向與基板的搬運方向相逆的方向移動來在基板上涂敷涂敷液的涂敷裝置以及涂敷方法。

背景技術

在半導體裝置、液晶顯示裝置等電子部件等的制造工序中，使用在基板的表面涂敷抗蝕劑液(與本發明的“涂敷液”的一個例子相當)的涂敷裝置。例如在日本專利第4571525號所記載的涂敷裝置中，向基板的背面吹氣體，在使基板浮起的狀態下搬運該基板。另外，在該基板的搬運方向上使長條型噴嘴移動，相對于該長條型噴嘴相對地搬運基板。而且，從長條型噴嘴向像這樣相對移動的基板的表面排出抗蝕劑液，幾乎在整個基板上涂敷抗蝕劑液。

在如上述那樣構成的涂敷裝置中，為了浮起基板來進行搬運，而沿基板的搬運方向將搬入區域、涂敷區域以及搬出區域按該順序設置成一列。在這些區域中的涂敷區域，在該區域內的各位置向基板賦予幾乎均勻的浮起力，在將基板從搬入區域搬運至搬出區域的中途，基板覆蓋涂敷區域的幾乎整個區域的期間，使用長條型噴嘴在基板的被處理面涂敷抗蝕劑液(涂敷處理)。另外，在該涂敷處理中，使向基板的被處理面供給抗蝕劑液的長條型噴嘴的位置從涂敷區域的下游側端部向與搬運方向相反的方向移動至上游側端部。

然而，在涂敷區域需要以較高的精度使基板浮起，作為其浮起量例如設定為50μm。與此相對，在搬入區域以及搬出區域不要求較高的浮起精度，浮起量例如設定在100～150μm的范圍內。而且，在長條型噴嘴位于涂敷區域的下游側端部的上方的狀態下開始涂敷處理，在其之后立即將基板的前端移載至以與涂敷區域不同的浮起量使基板浮起的搬出區域。此時，在長條型噴嘴的正下位置的浮起量變動，抗蝕劑液的膜厚變得不穩定。

另外，在涂敷處理的結束階段也產生這樣的問題。即，由于涂敷處理的進行，長條型噴嘴向與基板的搬運方向相逆的方向移動，移動至涂敷區域的上游側端部的上方結束涂敷處理。在該涂敷結束階段，基板的后端從具有與涂敷區域不同的浮起量的搬入區域移載至涂敷區域。此時，在長條型噴嘴的正下位置的浮起量變動，抗蝕劑液的膜厚變得不穩定。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而成的，目的在于在涂敷技術中使涂敷至基板的涂敷液的厚度穩定，其中，上述涂敷技術是一邊在使基板浮起的狀態下進行搬運，并且使噴嘴向與基板的搬運方向相逆的方向移動，一邊從噴嘴的吐出口排出涂敷液并涂敷在基板上的技術。

本發明的第一方式是一種涂敷裝置，具備：浮起機構，使基板浮起；基板搬運機構，搬運由浮起機構浮起的基板；噴嘴，從吐出口向由基板搬運機構搬運來的基板排出涂敷液并涂敷；以及噴嘴移動部，使排出涂敷液的噴嘴向與基板的搬運方向相逆的方向，浮起機構具有：涂敷浮起部，具有沿搬運方向排列多個沿與搬運方向垂直的寬度方向交替地配置噴出氣體的噴出孔以及吸引氣體的吸引孔而成的孔列而成的面、或者沿搬運方向交互地排列沿寬度方向配置多個噴出孔而成的孔列和沿寬度方向配置多個吸引孔而成的孔列而成的面，上述涂敷浮起部使基板從面浮起；以及下游側輔助浮起部，在搬運方向上與涂敷浮起部的下游側鄰接設置，向基板賦予浮起力，在由基板搬運機構搬運的基板的前端到達多個孔列中的在搬運方向上位于最下游的最下游孔列的上方前，開始從噴嘴向由涂敷浮起部浮起的基板排出涂敷液，并且開始使噴嘴向相反方向移動。