[發明專利]一種顯示基板及其制造方法、顯示器件有效
| 申請號： | 201810054626.9 | 申請日： | 2018-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN108346668B | 公開（公告）日： | 2021-03-19 |
| 發明（設計）人： | 秦旭;張露;韓珍珍;胡思明;朱暉 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/12 | 分類號： | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315 | 代理人： | 許志勇 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 顯示 及其 制造 方法 器件 | ||
1.一種顯示基板，其特征在于，包括：
基底；
半導體層，形成于所述基底上表面，包括溝道區與導電區；
柵絕緣層，形成于所述半導體層以及未被半導體層覆蓋的基底上表面；
第一導電層，形成于所述柵絕緣層上表面，包括正投影與所述溝道區有重疊部分的若干柵極區；
第二導電層，所述第二導電層包括極板區；所述極板區形成于至少一個所述柵極區上表面且與該柵極區電性連接，其正投影與所述導電區有重疊部分。
2.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述柵極區正投影邊緣完全位于該柵極區上表面的極板區內部。
3.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第二導電層與所述第一導電層之間形成第一絕緣層，所述第一絕緣層內形成第一通孔，所述極板區與所述柵極區通過所述第一通孔電性連接。
4.根據權利要求3所述的顯示基板，其特征在于，所述第一導電層、柵絕緣層以及半導體層形成若干薄膜晶體管，所述若干薄膜晶體管包括驅動晶體管，所述極板區形成于所述驅動晶體管的柵極區上表面。
5.根據權利要求4所述的顯示基板，其特征在于，所述第一絕緣層以及柵絕緣層內形成第二通孔，所述極板區包括形成有效存儲電容的電容區以及連接電容區的非電容區，所述非電容區通過所述第二通孔與所述導電區電性連接。
6.根據權利要求5所述的顯示基板，其特征在于，所述第二導電層還包括與所述極板區相互分隔的非極板區，所述第一絕緣層以及柵絕緣層內形成第三通孔，所述非極板區通過所述第三通孔與所述導電區電性連接。
7.根據權利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述第一導電層與所述第二導電層材料不同，所述極板區與所述柵極區直接接觸。
8.根據權利要求7所述的顯示基板，其特征在于，所述第一導電層材料為金屬，所述第二導電層材料為氧化銦錫。
9.根據權利要求1-8中任一項所述的顯示基板的制造方法，其特征在于，包括如下步驟：
提供一基底，并且在所述基底上表面形成半導體層；
在所述半導體層以及未被半導體層覆蓋的基底上表面形成柵絕緣層，且在所述柵絕緣層上表面形成第一導電層，所述第一導電層包括若干柵極區，所述若干柵極區正投影與所述半導體層有若干重疊部分；
以所述第一導電層為掩膜對所述半導體層進行摻雜，形成導電區；
在所述至少一個所述柵極區上表面形成電性連接所述柵極區且正投影與所述導電區有重疊部分的極板區。
10.一種顯示器件，包括若干單元發光器件，還包括權利要求1-8中任一項所述的顯示基板，所述顯示基板為各單元發光器件供電。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的；包括有熱磁組件的
