[發明專利]柔性背板及其制作方法、柔性顯示裝置

有效

• 申請號: 201810054350.4
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN108336143B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 張立祥;葛泳;劉玉成;孫丹丹;曹婷婷;來宇浩
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L21/027;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種柔性背板，其特征在于，包括依次層疊設置的柔性襯底、緩沖層、有源層、柵絕緣層及柵極金屬層，所述柔性背板還包括沿平行于導電溝道的方向依附于所述有源層兩側的有機絕緣層，所述柵絕緣層及所述柵極金屬層在所述有源層的兩側形成臺階拐角，所述有機絕緣層設置在所述臺階拐角處。

2.根據權利要求1所述的柔性背板，其特征在于，所述有機絕緣層的材料為聚酰亞胺、聚甲基丙烯酸甲酯、酚醛樹脂中的至少一種。

3.根據權利要求1所述的柔性背板，其特征在于，所述有機絕緣層的厚度與所述有源層的厚度一致。

4.根據權利要求1所述的柔性背板，其特征在于，所述有機絕緣層的厚度為50nm-1μm。

5.一種柔性顯示裝置，其特征在于，包括顯示面板，所述顯示面板包括權利要求1-4中任一條所述的柔性背板。

6.一種柔性背板的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供柔性襯底；

在所述柔性襯底上制作緩沖層、有源層；

沿平行于導電溝道的方向，在所述有源層兩側制作有機絕緣層；

在所述有源層和有機絕緣層上制作柵絕緣層；

在所述柵絕緣層上制作柵極金屬層，所述柵絕緣層及所述柵極金屬層在所述有源層的兩側形成臺階拐角，所述有機絕緣層設置在所述臺階拐角處。

7.根據權利要求6所述的柔性背板制作方法，其特征在于，所述在所述有源層兩側制作有機絕緣層的步驟之前，還包括采用準分子激光退火工藝對所述有源層進行晶化，使非晶硅重結晶為多晶硅的步驟。

8.根據權利要求6所述的柔性背板制作方法，其特征在于，所述有機絕緣層為感光材質，所述在所述有源層兩側制作有機絕緣層的步驟包括：

在所述緩沖層及有源層上涂布有機絕緣層；

對所述有機絕緣層進行預曝光顯影，以整體減薄所述有機絕緣層的厚度；

通過形成有定義圖形的光刻版對所述有機絕緣層進行曝光顯影，在所述有機絕緣層上形成所述定義圖形。

9.根據權利要求6所述的柔性背板制作方法，其特征在于，所述有機絕緣層為非感光材質，所述在所述有源層兩側制作有機絕緣層的步驟包括：

在所述緩沖層及有源層上涂布有機絕緣層；

對所述有機絕緣層進行預刻蝕，以整體減薄所述有機絕緣層的厚度；

通過形成有定義圖形的光刻版對所述有機絕緣層進行光刻和刻蝕，在所述有機絕緣層上形成所述定義圖形。

10.根據權利要求8或9中所述的柔性背板制作方法，其特征在于，所述在所述緩沖層及有源層上涂布有機絕緣層的步驟中，形成的有機絕緣層厚度為2μm-3μm；形成所述定義圖形之后，所述有機絕緣層的厚度為50nm-1μm。