[發(fā)明專利]柔性背板及其制作方法、柔性顯示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810054350.4
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN108336143B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張立祥;葛泳;劉玉成;孫丹丹;曹婷婷;來宇浩
• 申請（專利權(quán)）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L21/027;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本發(fā)明涉及一種柔性背板及其制作方法、柔性顯示屏，所述柔性背板包括依次層疊設(shè)置的柔性襯底、緩沖層、有源層、柵絕緣層及柵極金屬層，所述柵絕緣層及所述柵極金屬層在所述有源層的兩側(cè)形成臺階拐角，所述柔性背板還包括沿平行于導(dǎo)電溝道的方向依附于所述有源層兩側(cè)的有機(jī)絕緣層。本發(fā)明提供的柔性背板及柔性顯示屏在有源層兩側(cè)設(shè)置了有機(jī)絕緣層，因重復(fù)彎折引起的柵絕緣層臺階拐角與有源層之間的高缺陷態(tài)被有機(jī)絕緣層隔離，消除了漏電通道，從而保障了柔性顯示屏顯示效果的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及柔性背板及其制作方法、柔性顯示裝置。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，柔性顯示屏正得到越來越廣泛的應(yīng)用。由于柔性顯示屏具有可卷曲、寬視角、便于攜帶等特點，因此常用于包括可穿戴設(shè)備在內(nèi)的柔性產(chǎn)品中。

在實現(xiàn)上述技術(shù)的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)至少存在以下技術(shù)問題：

如圖1所示，沿W方向進(jìn)行彎折的柔性顯示屏，其柔性背板會在L方向上產(chǎn)生漏電通道，引起漏源電流增大,造成Mura(顯示不均)、暗點、Flicker(閃爍)等問題，影響顯示效果。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對傳統(tǒng)柔性背板彎折后容易導(dǎo)致漏源電流增大，從而影響顯示效果的問題，提供一種新的柔性背板。

本申請?zhí)峁┮环N柔性背板，包括依次層疊設(shè)置的柔性襯底、緩沖層、有源層、柵絕緣層及柵極金屬層，所述柵絕緣層及所述柵極金屬層在所述有源層的兩側(cè)形成臺階拐角，所述柔性背板還包括沿平行于導(dǎo)電溝道的方向依附于所述有源層兩側(cè)的有機(jī)絕緣層。

在其中一個實施例中，所述有機(jī)絕緣層的材料為聚酰亞胺、聚甲基丙烯酸甲酯、酚醛樹脂中的至少一種。

在其中一個實施例中，所述有機(jī)絕緣層的厚度與所述有源層的厚度一致。

在其中一個實施例中，所述有機(jī)絕緣層的厚度為50nm-1μm。

本申請?zhí)峁┮环N柔性顯示裝置，包括顯示面板，所述顯示面板包括上述任一實施例中所述的柔性背板，所述顯示面板為液晶顯示面板、OLED顯示面板中的一種。

本申請還提供一種柔性背板的制作方法，包括以下步驟：

提供柔性襯底；

在所述柔性襯底上制作緩沖層、有源層；

沿平行于導(dǎo)電溝道的方向，在所述有源層兩側(cè)制作有機(jī)絕緣層；

在所述有源層和有機(jī)絕緣層上制作柵絕緣層；

在所述柵絕緣層上制作柵極金屬層。

在其中一個實施例中，所述在所述有源層兩側(cè)制作有機(jī)絕緣層的步驟之前，還包括采用準(zhǔn)分子激光退火工藝對所述有源層進(jìn)行晶化，使非晶硅重結(jié)晶為多晶硅的步驟。

在其中一個實施例中，所述有機(jī)絕緣層為感光材質(zhì)，所述在所述有源層兩側(cè)制作有機(jī)絕緣層的步驟包括：

在所述緩沖層及有源層上涂布有機(jī)絕緣層；

對所述有機(jī)絕緣層進(jìn)行預(yù)曝光顯影，以整體減薄所述有機(jī)絕緣層的厚度；

通過形成有定義圖形的光刻版對所述有機(jī)絕緣層進(jìn)行曝光顯影，在所述有機(jī)絕緣層上形成所述定義圖形。

在其中一個實施例中，所述有機(jī)絕緣層為非感光材質(zhì)，所述在所述有源層兩側(cè)制作有機(jī)絕緣層的步驟包括：

在所述緩沖層及有源層上涂布有機(jī)絕緣層；

對所述有機(jī)絕緣層進(jìn)行預(yù)刻蝕，以整體減薄所述有機(jī)絕緣層的厚度；

通過形成有定義圖形的光刻版對所述有機(jī)絕緣層進(jìn)行光刻和刻蝕，在所述有機(jī)絕緣層上形成所述定義圖形。