[發(fā)明專利]晶圓運(yùn)輸載具以及晶圓盒檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810053920.8
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN110060939B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹翔安;李忠憲;蕭鳳儒
• 申請（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

1.一種晶圓運(yùn)輸載具，包括：

一乘載裝置，具有一容置空間以及與該容置空間連接的一檢測區(qū)域；

一懸吊裝置，設(shè)置于該容置空間內(nèi)，且被配置用以將一晶圓盒移動(dòng)至該容置空間內(nèi)；以及

一檢測裝置，設(shè)置于該乘載裝置上，且被配置以檢測該晶圓盒的一門板的位置，以于該門板位于該檢測區(qū)域內(nèi)時(shí)，發(fā)出一警告信號(hào),

其中，該檢測裝置包括：

一止擋片，位于該檢測區(qū)域內(nèi)；

一滑塊，可移動(dòng)地設(shè)置于該乘載裝置的一滑槽的一側(cè)，且連接于該止擋片；以及

一檢測組件，設(shè)置于該滑槽的另一側(cè)；

其中當(dāng)該止擋片被該門板推移，而使得連接該止擋片的該滑塊沿著該滑槽朝該檢測組件移動(dòng)時(shí)，該檢測裝置發(fā)出警告信號(hào)。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸載具，其中該檢測組件可為一接觸式開關(guān)或一非接觸式開關(guān)。

3.如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸載具，其中當(dāng)該門板接觸該止擋片的朝向該容置空間的一接觸面時(shí)，該檢測裝置發(fā)出該警告信號(hào)。

4.如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸載具，其中該止擋片樞接于該滑塊，該止擋片包括一第一導(dǎo)電片，且該滑塊包括與該第一導(dǎo)電片分離的一第二導(dǎo)電片，其中該檢測裝置被配置以當(dāng)該門板抵靠該止擋片并使該止擋片相對于該滑塊旋轉(zhuǎn)后，該第一導(dǎo)電片電性連接該第二導(dǎo)電片時(shí)，發(fā)出該警告信號(hào)。

5.一種晶圓盒檢測方法，包括：

通過一懸吊裝置將一晶圓盒從一半導(dǎo)體設(shè)備吊起，并朝向一乘載裝置的一容置空間內(nèi)移動(dòng)；以及

于該懸吊裝置移動(dòng)該晶圓盒的過程中，當(dāng)該晶圓盒的一門板位于連接于該容置空間的一檢測區(qū)域內(nèi)時(shí)，且位于該檢測區(qū)域內(nèi)之一止擋片被該門板推移，并且使得連接該止擋片的一滑塊沿著一滑槽朝一檢測組件移動(dòng)時(shí)，一檢測裝置發(fā)出一警告信號(hào)。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓盒檢測方法，還包括于該乘載裝置運(yùn)送該晶圓盒的過程中，當(dāng)該門板位于該檢測區(qū)域內(nèi)時(shí)，該檢測裝置發(fā)出該警告信號(hào)。