[發(fā)明專利]一種自帶外部接線的OLED器件及其加工方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810053694.3 | 申請日: | 2018-01-19 |
| 公開(公告)號: | CN110277511A | 公開(公告)日: | 2019-09-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 金凌;劉紀(jì)文;周煒 | 申請(專利權(quán))人: | 武漢華美晨曦光電有限責(zé)任公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司: | 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李靜 |
| 地址: | 430223 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 外部接線 制備 金屬電極 良率 自帶 有機(jī)發(fā)光二極管 陰極 導(dǎo)電性 陽極 表面電阻 操作工藝 導(dǎo)電路徑 導(dǎo)電性能 連續(xù)制備 面板陽極 驅(qū)動電壓 外接線路 真空鍍膜 制作設(shè)備 可控性 刻蝕線 電極 襯底 焊錫 減小 接線 蒸鍍 加工 優(yōu)化 | ||
1.一種自帶外部接線的OLED器件的加工方法,其特征在于,包括步驟:
在ITO陽極層上靠近襯底某側(cè)邊的位置刻蝕一整條刻蝕線,所述刻蝕線的底部抵達(dá)襯底,使刻蝕線兩側(cè)的ITO導(dǎo)電層分離成第一ITO導(dǎo)電層塊和第二ITO導(dǎo)電層塊,所述第二ITO導(dǎo)電層塊位于襯底側(cè)邊;
將刻蝕后的ITO襯底固定于樣品架上,利用掩膜版遮擋,在所述第一ITO導(dǎo)電層塊上選定的發(fā)光區(qū)域以及所述刻蝕線內(nèi)蒸鍍有機(jī)發(fā)光層;
利用掩膜版遮擋,在所述有機(jī)發(fā)光層上以及部分所述第二ITO導(dǎo)電層塊上蒸鍍金屬陰極層;
利用掩膜版遮擋,在所述第一ITO導(dǎo)電層塊上除所述刻蝕線之外的沿周,蒸鍍出陽極外接線膜;
用有機(jī)樹脂封裝層將所述金屬陰極層、有機(jī)發(fā)光層和部分所述第一ITO導(dǎo)電層塊封裝,所述陽極外接線膜、部分所述第二ITO導(dǎo)電層塊在所述封裝層之外。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自帶外部接線的OLED器件的加工方法,其特征在于,在ITO陽極層上刻蝕貫穿刻蝕線之前,將ITO襯底分別置于去離子水-乙醇-丙酮中超聲、O-zone處理,以獲得干凈的襯底。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自帶外部接線的OLED器件的加工方法,其特征在于,所述陽極外接線膜的蒸鍍金屬為Cu,Ag,Al,Au或Fe具有優(yōu)良導(dǎo)電性能的良導(dǎo)體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自帶外部接線的OLED器件的加工方法,其特征在于,所述樣品架上設(shè)有掩膜版安裝槽和夾具,不同樣式的掩膜版通過所述安裝槽滑動安裝在所述樣品架上,所述夾具用于將掩膜版固定在所述樣品架上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自帶外部接線的OLED器件的加工方法,其特征在于,所述樣品架上設(shè)有多個樣品蒸鍍窗口,用于一次性加工多個OLED器件樣品。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自帶外部接線的OLED器件的加工方法,其特征在于,所述大面積OLED照明面板在封裝過程中根據(jù)產(chǎn)品的規(guī)格需要設(shè)置陰極的外接電極的預(yù)留位置。
7.一種根據(jù)權(quán)利要求1制得的自帶外部接線的OLED器件,其特征在于,ITO陽極層上靠近襯底某側(cè)邊的位置刻蝕有一整條刻蝕線,所述刻蝕線的底部抵達(dá)襯底,刻蝕線兩側(cè)的ITO導(dǎo)電層分離成第一ITO導(dǎo)電層塊和第二ITO導(dǎo)電層塊,所述第二ITO導(dǎo)電層塊位于襯底側(cè)邊;
所述陽極外接線膜作為OLED器件陽極的外接接線;所述封裝層之外的部分第二ITO導(dǎo)電層塊由于具有導(dǎo)電性,作為連接OLED器件陰極的外部接線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自帶外部接線的OLED器件,其特征在于,所述金屬陰極層的金屬為Al。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自帶外部接線的OLED器件,其特征在于,所述陽極外接線膜的厚度為500-600nm。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的自帶外部接線的OLED器件,其特征在于,所述大面積OLED照明面板為柔性面板或玻璃面板,取決于器件的襯底材質(zhì)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機(jī)材料作有源部分或使用有機(jī)材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
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H01L51-42 .專門適用于感應(yīng)紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉(zhuǎn)換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發(fā)射的,如有機(jī)發(fā)光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
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