[發(fā)明專利]掩膜板及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810053569.2
• 申請(qǐng)日: 2018-01-19
• 公開（公告）號(hào): CN108193168B
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉亞紅;李俊峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 31264 上海波拓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 蔡光仟<國際申請(qǐng)>=<國際公布>=<進(jìn)入

本發(fā)明提出一種掩膜板，包括一體成型的框體，該框體還設(shè)有一凹陷部，該凹陷部內(nèi)設(shè)有圖案化的網(wǎng)格。通過在一整面的薄板上蝕刻形成凹陷部，凹陷部與環(huán)繞在凹陷部設(shè)置的框體框?yàn)橐惑w成型結(jié)構(gòu)，并在凹陷部上進(jìn)行圖案化處理形成網(wǎng)格，最后在該網(wǎng)格上鋪設(shè)精密掩膜板。本實(shí)施例提供的掩膜板的網(wǎng)格能夠更服帖于基板上，相對(duì)于現(xiàn)有的掩膜板降低了制作成本，提高了掩膜板的PPA穩(wěn)定性，解決了由于基板與掩膜板的結(jié)合狀態(tài)不佳造成的混色、彩斑等顯示不良問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于OLED蒸鍍的掩膜板及其制作方法。

背景技術(shù)

近年來，有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示器以輕薄、主動(dòng)發(fā)光、響應(yīng)速度快、視角廣、色彩豐富、亮度高、功耗低以及耐高低溫等諸多優(yōu)點(diǎn)而被業(yè)界認(rèn)為是繼液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)之后的新型顯示技術(shù)，OLED顯示器可廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦、電視等終端產(chǎn)品。

在現(xiàn)有技術(shù)中，是在真空環(huán)境下對(duì)OLED進(jìn)行蒸鍍，將作為處理對(duì)象的OLED基板朝向下安裝其蒸鍍面，當(dāng)蒸鍍用的金屬遮罩配置在OLED基板的蒸鍍面與蒸鍍?cè)粗g時(shí)，將蒸鍍?cè)醇訜嵋允拐翦儾牧险舭l(fā)，并經(jīng)由金屬遮罩的開口部使其附著于OLED基板表面而進(jìn)行蒸鍍。例如，當(dāng)前的OLED蒸鍍使用精細(xì)金屬遮罩(Fine Metal Mask，F(xiàn)MM)，考慮到張網(wǎng)方式和蒸鍍制程的便利，精細(xì)金屬遮罩的金屬框(Frame)往往是鏤空的，然后在鏤空的金屬框上逐一張網(wǎng)焊接形成水平方向的遮蔽部(Cover)，接著在遮蔽部的上方沿垂直方向形成支撐條(Howling)，并在平行于遮蔽部的方向上設(shè)置多個(gè)金屬條(Mask Sheet)，通過遮蔽部來遮擋相鄰的兩個(gè)金屬條之間的間隙，并使用支撐條從而支撐這些金屬條。

在蒸鍍工藝當(dāng)中，金屬遮罩與欲蒸鍍的基板之間不能有間隙，以免造成蒸鍍材料外溢而產(chǎn)生陰影效應(yīng)。因此，在基板上方設(shè)置磁鐵板讓金屬遮罩因磁力的吸引而可以緊密的服帖于基板上。此時(shí)，金屬遮罩由于其支撐條和遮蔽部是單獨(dú)焊接在金屬框上，并且磁鐵板是不完全均勻的，支撐條與遮蔽部受力不均勻使金屬遮罩的開口區(qū)變形，在蒸鍍過程中容易引起蒸鍍材料蒸鍍不到設(shè)計(jì)的特定區(qū)域?qū)е禄焐绊懏a(chǎn)品良率。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明旨在提出一種掩膜板及其制作方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中掩膜板因其遮蔽部與支撐條單獨(dú)焊接在金屬框上，而導(dǎo)致掩膜板的遮蔽部與支撐條的重合區(qū)域在磁鐵板的磁力吸引下有細(xì)微的變形，在蒸鍍過程中容易引起蒸鍍材料蒸鍍不到設(shè)計(jì)的特定區(qū)域?qū)е禄焐膯栴}。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種掩膜板，包括一體成型的框體，該框體還設(shè)有一凹陷部，該凹陷部內(nèi)設(shè)有圖案化的網(wǎng)格。

進(jìn)一步地，該網(wǎng)格包括第一部分與第二部分，該第一部分包括多條在第一方向上平行分布的條狀結(jié)構(gòu)，該第二部分包括多條在第二方向上平行分布的條狀結(jié)構(gòu)，該第一部分與該第二部分相互交錯(cuò)形成該網(wǎng)格，該第一方向與該第二方向相垂直。

進(jìn)一步地，由該第一部分與該第二部分限定形成多個(gè)彼此不相連且陣列排布的開口區(qū)。

進(jìn)一步地，該第一部分的寬度與該第二部分的寬度相同，該第一部分的厚度與該第二部分的厚度相同。

進(jìn)一步地，該掩膜板還包括設(shè)置于該網(wǎng)格上的精密掩膜板，該精密掩膜板包括多個(gè)相互間隔分布的條狀結(jié)構(gòu)，所述條狀結(jié)構(gòu)上設(shè)置有圖案區(qū)域。

進(jìn)一步地，多個(gè)該條狀結(jié)構(gòu)平行該第一部分設(shè)置并覆蓋該開口區(qū)；或，多個(gè)該條狀結(jié)構(gòu)平行于該第二部分設(shè)置并覆蓋該開口區(qū)，該條狀結(jié)構(gòu)的圖案區(qū)域與開口區(qū)對(duì)應(yīng)。

基于同一發(fā)明構(gòu)思，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種掩膜板制作方法，該制作方法包括：

提供一薄板；

在該薄板上涂布光阻材料，對(duì)該光阻材料進(jìn)行曝光顯影，形成一凹陷部，且在該凹陷部周邊具有光阻材料保護(hù)區(qū)域一體成型一框體；