[發明專利]掩膜板及其制作方法

有效

• 申請號: 201810053569.2
• 申請日: 2018-01-19
• 公開（公告）號: CN108193168B
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 劉亞紅;李俊峰
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 31264 上海波拓知識產權代理有限公司
• 代理人: 蔡光仟<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種掩膜板(100)，其特征在于，包括一體成型的框體(101)，該框體(101)還設有一凹陷部(103)，該凹陷部(103)內形成有圖案化的網格(105)；該網格(105)包括第一部分(105a)與第二部分(105b)，該第一部分(105a)包括多條在第一方向上平行分布的條狀結構，該第二部分(105b)包括多條在第二方向上平行分布的條狀結構，該第一部分(105a)與該第二部分(105b)相互交錯形成該網格(105)，該第一方向與該第二方向相垂直；該第一部分(105a)與該第二部分(105b)為一體式結構。

2.如權利要求1所述的掩膜板(100)，其特征在于，由該第一部分(105a)與該第二部分(105b)限定形成多個彼此不相連且陣列排布的開口區(107)。

3.如權利要求1所述的掩膜板(100)，其特征在于，該第一部分(105a)的寬度與該第二部分(105b)的寬度相同，該第一部分(105a)的厚度與該第二部分(105b)的厚度相同。

4.如權利要求3所述的掩膜板(100)，其特征在于，該掩膜板(100)還包括設置于該網格(105)上的精密掩膜板(108)，該精密掩膜板(108)包括多個相互間隔分布的條狀結構(108a)，所述條狀結構(108a)上設置有圖案區域。

5.如權利要求4所述的掩膜板(100)，其特征在于，多個該條狀結構(108a)平行于該第一部分(105a)設置并覆蓋開口區(107)；或，多個該條狀結構(108a)平行于該第二部分(105b)設置并覆蓋開口區(107)。

6.一種掩膜板(100)制作方法，其特征在于，該制作方法包括：

提供一薄板(10)；

在該薄板(10)上涂布光阻材料，對該光阻材料進行曝光顯影，形成一凹陷部(103)，且在該凹陷部(103)周邊具有光阻材料保護區域一體成型一框體(101)；

對該凹陷部(103)進行圖案化處理，形成網格(105)；該網格(105)包括第一部分(105a)與第二部分(105b)，該第一部分(105a)包括多條在第一方向上平行分布的條狀結構，該第二部分(105b)包括多條在第二方向上平行分布的條狀結構，該第一方向與該第二方向相互垂直，由該第一部分(105a)與該第二部分(105b)限定形成多個彼此不相連且呈陣列排列的開口區(107)；該第一部分(105a)與該第二部分(105b)為一體式結構。

7.如權利要求6所述的掩膜板(100)制作方法，其特征在于，該第一部分(105a)的寬度與該第二部分(105b)的寬度相同，該第一部分(105a)的厚度與該第二部分(105b)的厚度相同。

8.如權利要求6所述的掩膜板(100)制作方法，其特征在于，在該網格(105)上進行張網鋪設精密掩膜板(108)，使得該精密掩膜板(108)的條狀結構(108a)平行于該第一部分(105a)設置并覆蓋該開口區(107)；或多個該條狀結構(108a)平行于該第二部分(105b)設置并覆蓋該開口區(107)；該條狀結構(108a)的圖案區域與該開口區(107)對應。