[發明專利]用于形成石墨烯膜結構元件的方法和石墨烯膜結構元件

有效

• 申請號: 201810050293.2
• 申請日: 2018-01-18
• 公開（公告）號: CN108511601B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: G·魯爾;M·柯尼希
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L43/06
• 分類號: H01L43/06;H01L43/10;H01L43/14
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 鄭立柱;張鵬

1.一種用于形成石墨烯膜結構元件(200、300、400、500、600)的方法(100)，包括：

將石墨烯膜(220)在所述石墨烯膜(220)的松弛狀態中布置(110)在載體襯底(210)的表面(214)上，其中所述載體襯底(210)包括粘附層(213)和主體區域(211)，其中所述石墨烯膜(220)延伸跨過凹槽(212)，所述凹槽在所述載體襯底(210)的表面(214)處具有開口(216)，并且其中所述石墨烯膜(220)被布置成所述石墨烯膜(220)的第一部分(221)被布置在所述載體襯底(210)的表面(214)處，并且所述石墨烯膜(220)的第二部分(222)被布置在所述凹槽(212)的所述開口(216)之上，其中在所述粘附層(213)和所述石墨烯膜(220)之間的附著能大于在所述主體區域(211)和所述石墨烯膜(220)之間的附著能；并且

張緊(120)所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)，以便將所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)轉變到張緊狀態，從而所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)在所述石墨烯膜結構元件(200、300、400、500、600)的工作溫度范圍中持續地處于所述張緊狀態，其中所述張緊是通過固有的粘附通過將所述石墨烯膜的第三部分吸引到所述凹槽的壁部的由所述粘附層形成的一部分處進行的。

2.根據權利要求1所述的方法(100)，其中所述工作溫度范圍至少從10℃延伸到30℃。

3.根據權利要求1或2所述的方法(100)，其中在所述松弛狀態中的所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)的尺寸小于在所述張緊狀態中的所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)的尺寸的99％。

4.根據權利要求1或2所述的方法(100)，其中所述石墨烯膜(220)具有第三部分(223)，其中所述石墨烯膜(220)的所述第三部分(223)位于所述石墨烯膜(220)的所述第一部分(221)和所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)之間，并且其中所述石墨烯膜(220)的所述第二部分(222)的所述張緊(120)是通過固有的粘附通過將所述石墨烯膜(220)的所述第三部分(223)吸引到所述凹槽(212)的壁部(215)的至少一個部分處進行的。

5.根據權利要求4所述的方法(100)，其中所述載體襯底(210)包括粘附層(213)，所述粘附層形成所述載體襯底(210)的表面(214)的至少一個部分和所述壁部(215)的所述部分，在所述表面的所述至少一個部分處布置有所述石墨烯膜(220)的所述第一部分(221)，在所述壁部的所述部分處粘附著所述石墨烯膜(220)的所述第三部分(223)，并且其中在所述石墨烯膜(220)和所述粘附層(213)之間的附著能大于250mJ/m²。

6.根據權利要求1或2所述的方法(100)，其中將所述石墨烯膜(220)在所述石墨烯膜(220)的所述松弛狀態中布置(110)在所述載體襯底(210)的表面(214)上包括：將所述石墨烯膜(220)放置在液體的表面(310)上，以及使所述載體襯底(210)與被放置在所述液體的表面(310)處的石墨烯膜(220)接觸。

7.根據權利要求6所述的方法(100)，其中使所述載體襯底(210)與所述石墨烯膜(220)接觸包括：改變所述液體的液位。

8.根據權利要求6所述的方法(100)，其中使所述載體襯底(210)與所述石墨烯膜(220)接觸包括：使得所述載體襯底(210)向著所述液體的表面(310)的方向運動。